[实用新型]基片加热炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空薄膜沉积用基片加热炉。

背景技术

物质在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程称为晶体生长。其中，对于温度的控制，通常会利用到基片加热炉。加热温度均匀的加热炉可以有效控制晶体的生长速度和质量。目前，常用的基片加热炉普遍存在加热丝布局不合理，导致加热区域不够均匀，不能分区控制等缺陷。

实用新型内容

针对现有技术中的上述缺陷，本实用新型提供了一种电加热丝布局合理的基片加热炉。

本实用新型提供一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝。

优选的，所述电加热丝呈螺旋形设置在所述炉体内侧。

优选的，所述炉体内呈螺旋形设置有多组所述电加热丝。

优选的，所述炉体内设置有多组所述电加热丝，每组所述电加热丝均沿所述炉体内壁呈环形设置，且呈S形沿所述炉体轴线方向延伸。 

优选的，所述炉体架设于耐高温的底座上。

本实用新型的基片加热炉优化了电加热丝的布局，设置多组电加热丝，且环形设置在炉体内。本实用新型具有加热均匀，其还可进一步通过调节不同组的电加热丝，来实现各区域温度的精细调节等优点。 

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型第一实施例的纵向剖视图；

图2是本实用新型第一实施例的俯视图；

图3是本实用新型第二实施例的俯视图;

图4为图3中电加热丝的局部立体结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合实施例及实施例附图对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1至图3所示，本实用新型的一种基片加热炉，包括架设于耐高温的底座10上的炉体12，该炉体12为圆筒形，炉体12外壁设置有隔热层14。炉体12内设置与炉体12同轴的环形电加热丝16，电加热丝16的两端通过电极（未图示）连接电源（未图示）。以电加热的方式进行加热，可以实现快速加热和降温。

本实用新型第一实施例中，电加热丝16沿炉体12内侧螺旋形沿炉体12的轴线设置，即类似弹簧的结构。当然还可以根据需要设置多组这样的螺旋形的电加热丝16，同轴设置在炉体12内，以便于调节炉内的温度分布及提高加热温度。

本实用新型第二实施例中，炉体12内同样设置有多组电加热丝16，以便于调节炉内的温度分布及提高加热温度。每组电加热丝16均沿炉体12内壁呈环形（半圆或弧形）设置，且呈S形沿炉体12轴线方向延伸；其结构可如图4所示。当然，炉体12内也可以沿炉体12径向设置同轴设置多组这样的电加热丝16，以便精细地控制炉内不同区域的温度。即通过控制不同组电加热丝的开关和电压，来控制不同位置的电加热丝发热量。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式。本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。