[实用新型]采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱

权利要求书

1.采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，包括紫外清洗箱主体，所述紫外清洗箱主体包括箱壁，所述箱壁围成一清洗腔，所述清洗腔内设有清洗执行系统，所述清洗执行系统连接一紫外光源，以及一控制系统，其特征在于： 

所述紫外光源采用一场发射阵列激发的平板紫外辐射光源，所述场发射阵列激发的平板紫外辐射光源位于所述清洗腔内； 

所述光源包括一阳极板，所述阳极板上设有一紫外荧光粉层； 

所述光源还包括一场发射阴极阵列，所述场发射阴极阵列朝向所述阳极板。 

2.根据权利要求1所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外荧光粉层的出光面朝向所述清洗腔。 

3.根据权利要求2所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述出光面处设有一电动调光机构，所述电动调光机构连接所述控制系统。 

4.根据权利要求1所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外清洗箱主体还包括箱盖，所述箱盖通过一转轴连接所述箱壁，所述场发射阵列激发的平板紫外辐射光源位于所述箱盖下方，所述场发射阵列激发的平板紫外辐射光源连接所述控制系统，所述控制系统设有一电源开关控制机构，所述电源开关控制机构与所述转轴联动。 

5.根据权利要求1所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外荧光粉层的下方固定有一阳极用石英玻璃层； 

所述场发射阴极阵列的上方还设有一阴极用石英玻璃层，所述场发射阴极阵列固定在所述阴极用石英玻璃层的下表面上。 

6.根据权利要求1所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述紫外荧光粉层的上方固定有一导电层，所述紫外荧光粉层的下方固定有一阳极用石英玻璃层； 

所述场发射阴极阵列的上方还设有一阴极用石英玻璃层，所述场发射阴 极阵列固定在所述阴极用石英玻璃层的下表面上。 

7.根据权利要求6所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述光源还包括一玻璃粉烧结层，所述玻璃粉烧结层的上方连接所述场发射阴极阵列，所述玻璃粉烧结层的下方连接所述导电层或所述紫外荧光粉层。 

8.根据权利要求7所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述玻璃粉烧结层与所述场发射阴极阵列之间还设有一由栅极构成的栅极层。 

9.根据权利要求8所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述场发射阴极阵列的阴极为呈针状的阴极。 

10.根据权利要求8所述的采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱，其特征在于：所述场发射阴极阵列产生的电子束是短脉冲电子束或直流电子束。