[实用新型]带在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置

权利要求书

1.带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，包括有激光预处理及修复系统，所述的激光预处理及修复系统包括有相对光学元件表面设置的预处理光源或修复光源，其特征在于：所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复装置还包括有在线检测系统；所述的激光预处理及修复系统还包括有设置于预处理光源或修复光源后端且位于光学元件表面前端的第一光开关和光能量调整装置，所述的在线检测系统包括有用于激发光学元件表面荧光和红外辐射的泵浦光源、设置于泵浦光源后端且位于光学元件产生荧光和红外辐射的表面之间的第二光开关和光调制装置、用于获得荧光成像图像的荧光成像检测系统或用于获得红外成像图像的红外成像检测系统。

2.根据权利要求1所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，其特征在于：所述的荧光成像检测系统包括有相对光学元件产生荧光和红外辐射的表面设置的荧光成像装置，顺次设置于荧光成像装置后端的荧光滤光装置和荧光探测装置；所述的红外成像检测系统包括有相对光学元件产生荧光和红外辐射的表面设置的红外成像装置，顺次设置于红外成像装置后端的红外滤光装置和红外探测装置。

3.根据权利要求1所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，其特征在于：所述的激光预处理及修复系统还包括有设置于第一光开关和光能量调整装置后端的第一分光楔板和设置于第一分光楔板一输出端后的第一光能量探测装置，所述的光学元件表面相对第一分光楔板另一输出端设置；所述的在线检测系统还包括有设置于第二光开关和光调制装置后端的第二分光楔板和设置于第二分光楔板一输出端后的第二光能量探测装置，所述的光学元件产生荧光和红外辐射的表面相对第二分光楔板另一输出端设置。

4.根据权利要求1所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，其特征在于：所述的激光预处理及修复系统还包括有设置于预处理光源或修复光源后端且位于光学元件表面前端的第一光束整形处理装置和第一光束聚焦装置；所述的在线检测系统还包括有设置于泵浦光源后端且位于光学元件产生荧光和红外辐射的表面前端的第二光束整形处理装置和第二光束聚焦装置。

5.根据权利要求1所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，其特征在于：所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复装置还包括泵浦光源入射角度调整装置。

6.根据权利要求2所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，其特征在于：所述的荧光探测装置为荧光探测器阵列，选用CCD相机；所述的红外探测装置为红外探测器阵列，选用红外相机。