[实用新型]大气电浆镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种大气电浆镀膜装置。

背景技术

在电浆镀膜作业中，反应腔室内通常会有多支电浆喷头在同时作业，由于电浆喷头通过喷出的电浆进行镀膜处理时，电浆气流会致使待镀膜物体表面的粉尘扬起，也会产生一些电浆废气，若电浆喷头过于接近时，容易发生电浆气流相互干扰的情况，而影响制程稳定性，且粉尘也会影响制程质量。此外，目前的电浆喷头设计都是使电浆喷出后直接与周围反应体进行反应，反应生成物会四处分散而无法有效沉积在待镀膜物体表面，镀膜速度较慢。因此对于目前的大气电浆镀膜装置设计仍有改善空间。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可增加电浆废气与粉尘收集及增加镀膜沉积速率功效的大气电浆镀膜装置。

本实用新型大气电浆镀膜装置，包含一个中空的壳体，及分别安装于该壳体的一个电浆喷头与一个抽气设备。该壳体具有一个工作面，该工作面穿设有一个安装孔，及多个间隔分布于该安装孔周围的抽气孔，该电浆喷头是安装于该壳体中，并具有一个外露于该安装孔的电浆喷出部，该抽气设备是连通安装于该壳体并与所述抽气孔连通，且可在该壳体内产生作用于所述抽气孔的负压吸力。

本实用新型的大气电浆镀膜装置，还包含一个安装于该壳体且自该工作面往外突伸，并环绕于该安装孔与所述抽气孔外围的环状外罩。

本实用新型的大气电浆镀膜装置，该壳体具有一个界定出该工作面的中空的壳本部，及一个连通安装于该壳本部的中空的侧腔部，该电浆喷头是插装固定于该壳本部中，该抽气设备是连通安装于该侧腔部。

本实用新型的有益效果在于：通过于该壳体的电浆喷头外露处周围设置抽气孔，并经由抽气设备于壳体中产生负压吸力的方式，可将电浆废气与周围粉尘抽吸排出，防止镀膜作业空间内的其它设备被污染，且可防止多个电浆源气流的彼此干扰并增加镀膜沉积速率，有助于提高制程稳定性与镀膜质量。

附图说明

图1是一个立体图，说明本实用新型大气电浆镀膜装置的一个较佳实施例的外观；

图2是一个侧视剖面图，说明该较佳实施例的侧剖结构。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

在本实用新型被详细描述前，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的组件是以相同的编号来表示。

参阅图1与图2，本实用新型大气电浆镀膜装置的较佳实施例，可用于对一个待镀膜物体（图未示）进行电浆镀膜作业，包含一个中空壳体3，及分别安装于该壳体3的一个电浆喷头4、一个抽气设备5与一个环状外罩6。

该壳体3具有一个中空的壳本部31，及一个连通安装于该壳本部31旁侧的中空的侧腔部32，该壳本部31具有一个朝下的工作面311，且于该工作面311穿设有一个安装孔312，及多个绕该安装孔312间隔分布的抽气孔313，且抽气孔313孔径小于该安装孔312孔径。

该电浆喷头4是贯穿该壳本部31顶面地插装于该壳本部31中，并气密安装于该安装孔312中，且具有一个外露于该安装孔312的电浆喷出部41，该电浆喷出部41可对外喷出电浆。由于电浆喷头4喷出电浆的技术为现有技术，且类型众多，也非本实用新型的创作改良重点，因此不再详述。

该抽气设备5是连通安装于该侧腔部32，而与该壳本部31连通，可被驱动而在该壳本部31中产生作用于抽气孔313的负压吸力，可经由抽气孔313抽取该工作面311周围的电浆废气与粉尘。

该外罩6是安装于该壳本部31的该工作面311，且自该工作面311往下突伸，而环绕于该安装孔312与抽气孔313外围。

本实用新型大气电浆镀膜装置使用时，可将该大气电浆镀膜装置往下移近待镀膜物体，使该外罩6底缘接近待镀膜物体，在启动该电浆喷头4发出电浆而与反应气体进行反应时，可将电浆与反应气体反应产生的大部分生成物局限在该外罩6围绕的区域范围内进行沉积，所以可相对提高沉积速率。

在启动该电浆喷头4产生电浆的同时，也可启动该抽气设备5，利用该抽气设备5于该壳体3中产生的作用于抽气孔313的负压吸力，经由抽气孔313抽离电浆废气与粉尘，避免镀膜作业空间内的其它设备受污染。此外，还可利用该外罩6的围绕限制，以及该抽气设备5于抽气孔313产生的负压吸力，降低电浆源气流外散幅度，所以可大幅降低多支大气电浆镀膜装置的电浆源气流的彼此干扰程度，可提高制程稳定性与镀膜质量。

综上所述，通过于该壳体3的电浆喷头4外露处周围设置抽气孔313，并可于进行大气电浆镀膜处理时，经由该抽气设备5于该壳体3中产生负压吸力的方式，可有效将电浆废气与周围粉尘抽吸排出，可防止镀膜作业空间内的其它设备被污染，且可进一步配合该外罩6的设计，有效防止多个电浆源气流的彼此干扰，而有助于提高制程稳定性与镀膜质量，相当实用，因此，确实能达成本实用新型的目的。