[实用新型]一种紫外激光加工装置

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种紫外激光加工装置。 

[背景技术]

激光微加工是指产品加工(打标、切割)尺寸在几个到1000多微米的工艺过程,是激光加工的一个分支领域,目前已经在各行业得到广泛的应用,它主要是利用高能量密度的激光束对材料进行直接的烧蚀、炭化、雕刻加工,材料表面吸收激光的能量后出现炭化、融化、气化，实现加工目的，主要有激光能量高、效率高、效果好、成本低、环保等优点. 

随着科技进步的提高,紫外激光的聚焦光斑直径可达0.005MM,加工的精度大大提高,但是传统激光定位方式(人工或机器夹具定位精确在0.05MM及以上)难以满足产品的打标及切割精度要求,例如在非金属去毛边的加工中,精度要求在0.03MM以内,这样,普通激光的定位无法满足。 

[实用新型内容]

本实用新型提供了一种紫外激光加工装置，其加工精度高，能对加工工件进行精确打标和切割。 

本实用新型的技术方案是： 

一种紫外激光加工装置，包括紫外激光器、振镜系统、聚焦透镜，在紫外激光器和振镜X之间的光路上还设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴视觉系统里的同轴光源设在加工工件的一侧； 

紫外激光器发出的紫外激光束水平入射到分光片上，经过分光片的透射、再经过振镜系统的全反射、最后经过聚焦透镜的折射将紫外激光束汇聚到加工 工件上； 

同轴光源发出的光投射到加工工件上，加工工件的反射光依次经过聚焦透镜的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片上，再经过分光片的全反射后被同轴视觉系统捕捉成像，同轴视觉系统将成像数据发送到工业控制计算机，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度。 

本实用新型在紫外激光器和振镜X之间的光路上设有分光片，在分光片的上方还设有同轴视觉系统，同轴视觉系统里的同轴光源设在加工工件的一侧；分光片可以透射紫外激光束，但对光源透射到加工工件上的反射光可以全部反射出去，从而可以在同轴视觉系统里捕捉加工工件的成像数据，并发送到工业控制计算机，工业控制计算机根据该成像数据调整振镜系统中的振镜X和振镜Y的偏向角度，实现激光按工业控制计算机指示的坐标位置值移动，满足加工精度高的要求，能对材料进行精确打标和切割。 

[附图说明]

图1是本实用新型的紫外激光加工装置在一实施例中的结构原理图。 

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型的具体实施例做一详细的阐述。 

如图1，本实用新型的紫外激光加工装置，包括紫外激光器1、振镜系统、聚焦透镜7，在紫外激光器1和振镜X5之间的光路上还设有分光片4，在分光片4的上方还设有同轴视觉系统3，同轴视觉系统3里的同轴光源9设在加工工件8的一侧； 

紫外激光器1发出的紫外激光束水平入射到分光片4上，经过分光片4的透射、再经过振镜系统的全反射、最后经过聚焦透镜7的折射将紫外激光束汇 聚到加工工件8上，实现对加工工件8的精确打标和切割； 

同轴光源9发出的光投射到加工工件8上，在加工工件8上形成反射光，加工工件8的反射光依次经过聚焦透镜7的折射、振镜系统的全反射后变成平行光再入射到分光片4上，再经过分光片4的全反射后被同轴视觉系统3捕捉成像，从而可以在同轴视觉系统3里捕捉到加工工件的成像数据，并可以通过同轴视觉系统3里的图形显示器查看加工工件的清晰的像；同轴视觉系统3将成像数据发送到工业控制计算机10，工业控制计算机10里安装有图像的标定软件，对该成像数据进行特征分析、位置捕捉、比对等处理后输出激光的定位数据到振镜系统，振镜系统根据该定位数据，调整振镜X和振镜Y的偏向角度；从而实现激光按工业控制计算机指示的坐标位置值移动，满足加工精度高的要求，能对材料进行精确打标和切割。 

其中，所述分光片4可以对波长为355nm的紫外激光能全部透射,而对波长为390nm-1064nm之间的可见光(即同轴视觉光)全反射。从而可以在同轴视觉系统3里捕捉加工工件的成像数据，而且也不影响紫外激光束；该分光片4可以固定在激光腔内的零件上。在本实用新型中，所述紫外激光器1发出的紫外激光束的波长可以为355nm。