[实用新型]一种玻璃晶圆清洗治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种治具，尤其涉及一种玻璃晶圆清洗治具。

背景技术

光学玻璃晶圆主要应用在精密的电子、数码产品、仪器仪表及光学元件等领域，对晶圆的表面要求有极高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精准度。

玻璃晶圆的生产制程精密，其中，清洗工艺也是生产制程中关键的一环。当前的清洗工艺主要采用超声波清洗机进行操作，在清洗工艺中既要保证玻璃晶圆表面的有机物、颗粒、杂质、自然氧化层等物质的有效去除，又要有效地保护玻璃晶圆表面特性。

因此，产品在清洗过程中如何放置也是影响清洗效果的重要因素，将产品放置在专用的清洗治具上可大大提高清洗效果。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种玻璃晶圆清洗用的治具，以达到提高清洗效果，保证产品质量的目的。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种玻璃晶圆清洗治具，其包括：两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条；所述各挡条上对应设有多个卡槽，每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内；所述两侧挡板上对称设有一对通孔。

优选的，所述挡条与两侧所述挡板通过螺栓锁紧固定。

优选的，所述挡板上还设有用于调整挡条位置的附加锁紧螺孔。

优选的，所述挡条包括四根。

通过上述技术方案，本实用新型所公开的玻璃晶圆清洗治具，是将玻璃晶圆一片片插置在对应设置的卡槽内，可同时清洗多片，该治具结构简单，体积小巧结实，两侧的挡板上还设有通孔，便于清洗液流通顺畅，使玻璃晶圆得到充分清洗，不仅提高了清洗效果，还保证了产品质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例所公开的一种玻璃晶圆清洗治具的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提供了一种玻璃晶圆清洗治具，如图1所示，该清洗治具，包括：两侧挡板1和四根挡条2，挡条两端分别与两侧挡板通过螺栓连接锁紧，形成一边框体。各挡条上都对应设有多个卡槽3，每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内，这样玻璃晶圆可插放在位于同一平面上的四个卡槽内，支撑该晶圆平稳放置。两侧的挡板1上还对称设有一对通孔4，便于清洗液体在治具内流动通畅，使治具上的玻璃晶圆能充分得到清洗。

两侧挡板上还设有用于调整挡条位置的附加锁紧螺孔5，根据要清洗的玻璃晶圆的尺寸可调整挡条的位置，以符合玻璃晶圆的放置。

上述实施例中，挡条为四根，在其它实施例中，挡条也可以为三根或五根等，本实用新型不作限定。

本实用新型所公开的玻璃晶圆清洗治具，是将玻璃晶圆一片片插置在对应设置的卡槽内，可同时清洗多片，该治具结构简单，体积小巧结实，两侧的挡板上还设有通孔，便于清洗液流通顺畅，使玻璃晶圆得到充分清洗，不仅提高了清洗效果，还保证了产品质量。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神之内所做的修改及同等变换，均应落在本实用新型的保护范围之内。