[实用新型]多通道动态配气仪

权利要求书

1.一种多通道动态配气仪，其特征在于，包括：

主控模块；

与所述主控模块相连的，用于为所述主控模块提供时序脉冲信号的时钟模块；

N个进气口，所述N为大于或等于9的自然数；

与所述主控模块相连的，用于为配气过程提供气体通道，以及用于在所述主控模块控制下调整配气过程中气体通道内的气体流量，以配制出所需的混合气体的N个质量流量控制器MFC，其中，所述N个MFC分别与所述N个进气口一对一连接；

与所述N个质量流量控制器MFC同时相连的，用于输出配制的混合气体的气体输出口。

2.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括与所述主控模块相连的，用于为所述主控模块提供数据存储功能的数据存储模块，其中：

所述主控模块具体通过数据线与所述数据存储模块相连。

3.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括与所述主控模块相连的，用于提供人机交互功能的数据输入及显示模块，其中：

所述主控模块具体通过RS232串口与所述数据输入及显示模块相连；

所述数据输入及显示模块包括液晶显示器LCD。

4.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括与所述主控模块相连的串口通信模块，所述主控模块通过所述串口通信模块与所述N个MFC相连，其中：

所述串口通信模块具体包括RS485串口。

5.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括：与所述主控模块相连的控制系统电源模块及与N个MFC相连的MFC电源模块。

6.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括与所述N个进气口中的每一进气口一对一连接的N个气路，所述N个进气口分别通过所述Ｎ个气路与所述Ｎ个MFC一对一相连；

所述N具体为9。

7.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括与所述Ｎ个MFC同时相连的，用于显示配制的混合气体的流量的流量计。

8.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，还包括：

与所述Ｎ个MFC相连的，用于排空所述Ｎ个MFC内的气体的排空口；

连接于所述Ｎ个MFC及所述排空口之间的，用于调节排空气体的流速的调节阀。

9.根据权利要求1所述的多通道动态配气仪，其特征在于，所述主控模块包括主控MCU，所述主控MCU具体采用C8051F020单片机。

10.根据权利要求9所述的多通道动态配气仪，其特征在于，所述时钟模块采用PCF8563时钟芯片，所述PCF8563时钟芯片通过I2C总线与所述C8051F020单片机的时钟输入端连接。