[实用新型]废气处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理设备，且特别是涉及一种具有压力控制阀的废气处理设备。 

背景技术

当制作工艺机台的废气自制作工艺反应室抽离后，会先经过废气处理设备，再作进一步处理，之后排入大气。目前的废气处理设备一般采用前段高温加热，使半导体制作工艺废气氧化，后段再经洒水装置以清水喷洒冲洗，将高温废气降温，同时洗涤高温废气，使废气中的微粒或者酸碱溶解于水中，再将废水经由排水管排出，并通过抽风装置将处理过的废气通过排气管排放至外界。由于此设备有效结合氧化及水洗的优点，能适用于大量粉尘的制作工艺中，因此广受各大半导体厂选用。 

现有的废气处理设备为了与抽风装置所产生的风压抗衡，其排水管须设置有一定高度的存水弯，以利用其静水压力来抵抗风压，使废水能顺利经由排水管排出。然而，当抽风装置所产生的风压超过2000毫米水柱（mmAq）以上时，其所需的存水弯长度将长达几十公尺（米），无论在实务上或建置空间上皆不适宜。若用以抵抗抽风装置的风压的存水弯长度不足，则废水会随着处理过的废气一同抽送至排气管而排放至外界，不仅造成环境污染，更会使管线积水，进而造成严重的管线腐蚀问题、工安危害以及维修上的困扰。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种废气处理装置，其可控制腔体以及存水弯管内的压力，因而可缩短其其存水弯管的长度。 

为达上述目的，本实用新型提出一种废气处理设备，其包括腔体、排气管、抽风装置及存水弯管。腔体包括进气口、排水口及用以喷洒液体的洒水装置。废气经由进气口进入腔体与液体接触。排气管连接腔体。抽风装置将腔体内的废气抽送至排气管。存水弯管连接排水口且包括第一压力控制阀、 第二压力控制阀及弯折部。第一及第二压力控制阀分别设置于存水弯管的进水端及出水端。弯折部位于进水端及出水端之间。当第一或第二压力控制阀开启时，液体通过开启的第一或第二压力控制阀。当第一或第二压力控制阀关闭时，液体无法通过关闭的第一或第二压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的第一压力控制阀以及第二压力控制阀各包括一挡片，其适于切换于一开启位置及一关闭位置之间。当挡片位于开启位置时，挡片让出一通道以供液体通过。当挡片位于关闭位置时，挡片遮挡存水弯管的管道以阻挡液体通过。 

在本实用新型的一实施例中，上述的挡片各具有一转轴，各转轴通过存水弯管的管道中心。各挡片沿着对应的转轴旋转，以切换于开启位置及关闭位置之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的存水弯管的长度介于2公尺至3公尺之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的抽风装置的风压介于2000毫米水柱（mmAq）至3500毫米水柱（mmAq）之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的废气处理设备还包括一感测单元以及一控制单元。感测单元耦接第一压力控制阀以及第二压力控制阀。控制单元耦接感测单元、第一压力控制阀以及第二压力控制阀。当感测单元侦测到第二压力控制阀开启时，控制单元关闭第一压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的弯折部包括一第一弯折部以及一第二弯折部。第一弯折部位于进水端与第二弯折部之间。第二弯折部位于出水端与第一弯折部之间。 

在本实用新型的一实施例中，当上述的液体通过第二弯折部时，控制单元开启第二压力控制阀，此时感测单元侦测到第二压力控制阀开启，控制单元关闭第一压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的腔体还包括一洗涤层，具有多个微孔，使液体与废气通过洗涤层而充分混合。 

在本实用新型的一实施例中，上述的第一压力控制阀以及第二压力控制阀为蝴蝶阀。 

本实用新型的优点在于，在连接腔体的存水弯管内设置两个压力控制阀，其分别位于存水弯管的进水端及出水端，且在排水的过程中，两个压力 控制阀至少有一个呈关闭状态。如此，腔体内的压力可与出水端外的压力隔绝，以维持腔体内的压力不变，而腔体内的液体即可顺利经由存水弯管排出，而不会因抽风装置所产生的风压过大，而造成抽风装置将液体与废气一同抽至排气管内的情形。因此，本实用新型的废气处理设备无须全靠存水弯管内的静水压力来平衡抽风装置产生的风压，存水弯管的长度因而可大幅缩短，因而增加了废气处理设备在实务上以及建置空间上的可行性。 

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。 

附图说明

图1是依照本实用新型的一实施例的一种废气处理设备的示意图； 

图2是图1的压力控制阀的示意图。