[实用新型]基于电源关断技术的乒乓测试机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于晶圆和其他成品的测试设备，具体地说是一种基于电源关断技术的乒乓测试机，属于半导体测试设备领域。 

背景技术

测试机是用于晶圆和其他成品测试(以下简称待测产品)的一种专用设备，可以实现各种电参数的测量，其有多个与探针台连接的接口。探针台主要完成探针卡与待测产品的可靠接触、待测产品的固定步距移动，以及探针台与测试机的信号连接等功能。测试头是测试机上的一种测试转换装置，可以将测试机的信号分配给不同的测试单元，以提高测试的效率。 

传统的测试机只有一个测试头，与探针台配合进行测试时，只能对单待测产品测试，即待测产品每次移位并与探针卡接触只能测试一个芯片，测试效率较低。 

为了提高测试效率，出现了一种基于乒乓测试原理的测试机，如JUNOTester公司的DTS-1000，配备有两个测试头，可以连接两台探针台实现乒乓测试，如图1所示。测试机100包括第一测试头110和第二测试头120，分别连接第一探针台210和第二探针台220。第一测试头110测试第一探针台210承载的待测产品后，得到测试结果；在第二探针台210对待测产品移位并与探针卡接触的过程中，第二测试头120测试第二探针台220承载的另一个待测产品，并得到测试结 果，从而提高测试效率。 

上述单纯基于乒乓测试原理的测试机的缺陷是：在第一测试头完成测试后，为了避免对第二测试头的工作带来信号干扰和误差，需要全部切断来自第一测试头的信号，这一方面需要消耗一定时间，造成测试效率下降，另一方面也易出现信号切断误差，影响测试准确度。 

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型设计了一种基于电源关断技术的乒乓测试机，该测试机克服了现有的基于乒乓测试原理的测试机在交替测试切换过程中需切断大量信号而影响测试效率和准确度的缺陷，测试效率快速和准确度高。 

本实用新型的技术方案为： 

一种基于电源关断技术的乒乓测试机，包括多个测试头，以及与所述测试头电连接的电源控制模块。 

优选地，所述多个测试头为两个。 

在其中一测试头完成测试后，待测产品移位并与探针卡接触的过程中，与该测试头电连接的电源控制模块在主机的控制下，关断该测试头的电源，从而切断所有信号，并由另一测试头开始新的测试，这一方面大幅提高了测试信号切换的效率，也提高了信号切换的准确度，从而提供测试机测试的效率和准确度。 

本实用新型的优点在于：该测试机克服了现有的基于乒乓测试原理的测试机在交替测试切换过程中需切断大量信号而影响测试效率和准确度的缺陷，测试效率快速和准确度高。 

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 

附图说明

图1是现有技术中基于乒乓测试原理的测试机的结构示意图； 

图2是本实用新型基于电源关断技术的乒乓测试机的结构示意图。 

具体实施方式

以下对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。 

实施例1 

如图2所示，一种具有两个测试头的基于电源关断技术的乒乓测试机100，包括第一测试头110和第二测试头120，分别连接第一探针台210和第二探针台220；其中，第一测试头110和第二测试头120还分别与第一电源控制模块310、第二电源控制模块320电连接。 

第一测试头110测试第一探针台210承载的待测产品后，得到测试结果，并由第一电源控制模块310关断电源；在第一探针台210对待测产品移位并与探针卡接触的过程中，第二测试头120测试第二探针台220承载的另一个待测产品，并得到测试结果，并由第二电源控制模块320关断电源，再由第一测试头110测试另一个待测产品。 

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施 例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。