[实用新型]一种多晶铸锭用高效坩埚有效
申请号: | 201320032628.0 | 申请日: | 2013-01-22 |
公开(公告)号: | CN203159742U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 颜颉颃;习海平;罗建明;高源;石宗杰;张欣 | 申请(专利权)人: | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 222300 江苏省连云港市东*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 高效 坩埚 | ||
1.一种多晶铸锭用高效坩埚,包括常规的石英坩埚,其特征在于:所述石英坩埚的底部均匀分布有高纯颗粒。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭用高效坩埚,其特征在于:所述高纯颗粒均匀镶嵌于石英坩埚底部的石英浆料内。
3.根据权利要求2所述的多晶铸锭用高效坩埚,其特征在于:所述高纯颗粒为碳化硅颗粒、石英颗粒或硅颗粒,其粒径为0.5-3mm。
4.根据权利要求3所述的多晶铸锭用高效坩埚,其特征在于:所述高纯颗粒突出石英坩埚底部的高度为1-2mm,高纯颗粒之间的间距为5-10mm,高纯颗粒呈矩阵排列。
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