[实用新型]掩模板样品横断面切割工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模板样品横断面切割工具。

背景技术

在半导体的生产工艺中，在对掩模板样品进行检验时，为了揭示掩模板样品的横截面的观察图形区域的质量，需要对掩模板样品的横断面进行切割。由于掩模板样品的空白区域的厚度远大于晶圆的厚度。因此，为了使得掩模板样品被顺利切割，刀具在掩模板样品上的切割长度越长越好，但是刀具是不能够碰到需要观察的观察图形区域的，也就是说，一旦刀具块到位于掩模板样品中部的观察图形区域时，刀具要离开掩模板样品，等跳过该观察图形区域后再继续切割掩模板样品。

现有的切割方法，需要人为观察切割的位置。这方法不但容易碰伤所述观察图形区域，而且造成切割的断面不统一。

因此，如何提供一种不需要人为确定切割位置的掩模板样品横断面切割工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模板样品横断面切割工具，在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种掩模板样品横断面切割工具，包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构，所述横梁架设于所述底板上，所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方，所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上，所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述横梁的一侧表面设有用于设定所述条状垫片位置的第二标尺，所述底板上设有用于设定所述掩模板样品位置的第一标尺，且所述第二标尺和所述第一标尺平行设置且两者的刻度位置对应。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具包括刀片、刀轴以及紧固螺钉，所述刀轴的一端设有供所述刀片穿越的槽孔，所述刀片的一端穿设于所述槽孔内，所述刀片通过所述紧固螺钉与所述刀轴固定连接。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具驱动机构包括框架、至少两个滚珠、顶块、顶杆以及弹簧，所述框架套设于所述横梁及条状垫片的外侧，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有滚珠，所述框架靠近底板的一侧设有供所述刀具的所述刀轴穿越的通孔，所述刀轴的另一端通过所述顶杆与位于所述框架内的所述顶块固定连接，所述弹簧套设于所述顶杆的外侧，所述框架通过所述弹簧将所述顶块顶向所述横梁，所述顶块上与所述横梁或者条状垫片相接触的表面设有另一滚珠。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述刀具驱动机构还包括手柄，所述手柄设置于所述框架远离底板的一端。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述框架上与所述横梁相接触的表面设有两个相间隔的滚珠，所述顶块上与所述横梁相接触的表面设有一滚珠，设于所述顶块上的滚珠与所述两个相间隔的滚珠的距离相等。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述掩模板样品固定机构包括两对滑动锁紧机构，每个滑动锁紧机构包括滑块和锁紧件，所述底板上开设有与所述滑块相匹配的滑槽，所述滑块通过所述锁紧件固定于所述底板的所述滑槽内。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述滑槽与所述横梁相互垂直。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述第一标尺的两端分别通过连接板与所述底板活动连接。

优选的，在上述的掩模板样品横断面切割工具中，所述两块条状垫片的相对端分别设有导向坡。

本实用新型提供的掩模板样品横断面切割工具，通过将所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应，通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割，因此，在每次切割过程中，不需要人为观察确定切割位置，即可以实现掩模板样品的切割，不但可以避免刀具碰伤掩模板样品上的需要观察的切割区域，而且可以实现统一一致的切割，显著提高了切割效率和精度。

附图说明

本实用新型的掩模板样品横断面切割工具由以下的实施例及附图给出。

图1和图2是本实用新型的一实施例的掩模板样品横断面切割工具的两种状态的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的刀具驱动机构和横梁以及垫片的组装示意图；