[发明专利]抽真空系统气体抽除速度测量装置及其方法的应用

权利要求书

1.一种抽真空系统气体抽除速度测量装置，用于抽真空系统抽真空的抽气速度测量，所述抽真空系统包括真空机组、抽真空管道和阀门，其特征在于，所述抽真空速度标定系统包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，所述真空传感器和所述定流量进气装置均连通设置在所述抽真空管道上，所述控制装置以电气测控形式连接所述定流量进气装置和所述真空传感器，所述控制装置控制所述定流量进气装置动作、采集所述定流量进气装置和所述真空传感器的数据信息并进行计算和存储，确定所述真空传感器测得的真空度的数值与所述定流量进气装置的气体流量数值的关系。

2.如权利要求1所述的抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述定流量进气装置包括多个并联设置的微定流量器，每个所述微定流量器均包括两个相通的第一通口和第二通口，所述第一通口与所述抽真空管道连通，所述第二通口连通阀门。

3.如权利要求2所述的抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述微定流量器分别为Q1、Q2…、Qx、…Qn，对应的通气量分别为S1、S2…、Sx、…Sn，各所述微定流量器的通气量满足下列关系：Sx=2^x×S1。

4.如权利要求3所述的抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述微定流量器Q1、Q2…、Qx、…Qn之间能够任意组合开启。

5.如权利要求1所述的抽真空系统气体抽除速度测量装置，其特征在于，所述真空传感器安装于一测量室，所述测量室通过一阀门连通所述抽真空管道。

6.一种抽真空系统气体抽除速度测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

（11）仅对抽真空系统中的抽真空管道抽真空，直至测得的抽真空管道真空度在连续一段时间内不再有明显提高；

（12）向所述抽真空管道中微定量进气，并同时检测所述真空管道中的真空度，将该定量气体流量与该真空度的数值进行关联；

（13）改变微定量进气值后重复所述步骤（12），并将所有相关联的定量气体流量与真空度数值一一对应进行关联；

（14）对上述各关联点进行拟合，以得到在高真空状态下真空度与气体流量之间的关系曲线；

（15）对真空容器进行抽真空，真空容器运行到较高真空状态时，在抽真空系统运行的同时检测抽真空管道的真空度；

（16）根据所述步骤（15）中的真空度数值以及所述步骤（14）中真空度与气体流量之间的关系曲线确定抽真空系统气体抽除速度。

7.如权利要求6所述的抽真空系统气体抽除速度测量方法，其特征在于，所述抽真空系统中抽真空管道和真空机组任一装置和参数改变时都需要重新进行所述步骤（11）-（14）。

8.一种真空干燥处理物出水率测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

（21）通过所述权利要求6中方法得到在较高真空状态下真空度与气体流量之间的关系曲线；

（22）将被干燥物置于真空容器中，在抽真空系统运行到较高真空状态时，在抽真空系统运行的同时检测抽真空管道的真空度、温度和露点值；

（23）根据所述步骤（22）中的真空度数值以及所述步骤（21）中真空度与气体流量之间的关系曲线确定抽真空系统气体抽除速度；

（24）根据所述步骤（22）中检测到的真空度、温度和露点值以及所述步骤（23）中得到的气体抽除速度来确定所述被干燥物的出水率。

9.如权利要求8所述的真空干燥处理物出水率测量方法，其特征在于，所述温度通过一温度传感器测量，所述露点值通过一露点仪测量，所述真空传感器、温度传感器和露点仪安装于一测量室，所述测量室通过一阀门连通所述抽真空管道。

10.如权利要求8所述的真空干燥处理物出水率测量方法，其特征在于，所述出水率为：W=0.00793×ΔP×a×[273/(273+γ)]/T；其中：

W为出水率，单位为g/（t×h）；

ΔP为气体0℃时水分压，单位为Pa，通过气体的露点值和温度换算得到；

а为抽速，单位为m³/h，通过测量真空度得到；

T为被干燥物中被干燥部分总质量，单位为t（吨）；

γ为气体温度，单位为℃。