[发明专利]彩色滤色片膜厚测量方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造技术，更具体地说，涉及一种彩色滤色片膜厚测量方法及装置。

背景技术

RGB（Red，Green，Blue）制程是TFT-LCD面板色彩形成的关键所在，在彩色滤色片（Color Filter）的生产中，通过管控RGB光阻成膜的膜厚来保证色彩品质。RGB膜厚量测主要有3种方式：接触式探针量测、光学式3D建模、光学式折射换算。其中光学式3D建模，以其量测种类多、量测灵活度高、稳定性可靠性佳、量测速度快等优点，在TFT-LCD行业中得到越来越多的应用，且更适用于集成化的量测一体机，可有效降低设备成本。

现有的光学式3D测量方式是将彩色滤色片的图像用灰阶图进行显示，然后依据该灰阶图识别出R、G、B三种像素区域，在进行每一种像素区域的测量。由于R像素和B像素在灰阶图中十分接近，一方面检测人员很容易会将两种像素区域混淆，另一方面设备软件在自动识别量测时也很容易误匹配,导致出现检测错误，即使在像素区域的边缘位置设置识别角，也会因为识别角的大小与曝光设备的精度限制而无法准确识别出不同的像素区域；此外，不同的检测人员设定的检测位置不同，也会导致测量的结果存在差异。

发明内容

本发明的目的在于，针对现有的彩色滤色片在检测过程中无法准确分辨出检测的像素区域的颜色类型以及不同的检测人员会得出不同的检测结果的缺陷，提供一种能够准确分辨及测量的彩色滤色片膜厚测量方法及装置。

本发明解决上述问题所提供的彩色滤色片膜厚测量方法包括以下步骤：

S1、使用彩色摄像机拍摄彩色滤色片，获取彩色滤色片的彩色图像；

S2、对于采集到的彩色图像进行色阶匹配，识别出彩色图像中的各个具有不同颜色的颜色区域以及背景区域；

S3、分别测量每个颜色区域以及背景区域的膜厚；其中，每个颜色区域的膜厚测量方法为：首先确定每个颜色区域的中心点的位置，然后测量该颜色区域的中心点处的膜厚，并将在该颜色区域的中心点处相对于背景区域的高度记录为该颜色区域的膜厚。

本发明的彩色滤色片膜厚测量方法，其中步骤S3还包括：设置带有准星的检测框，移动所述检测框至所述颜色区域上，使准星处于颜色区域的中心区域内。

本发明的彩色滤色片膜厚测量方法，在所述检测框的准星上设置直径为20微米至40微米的识别圈，当所述识别圈处于待检测的颜色区域内时，确定所述准星处于颜色区域的中心区域内。

本发明的彩色滤色片膜厚测量方法，在所述检测框的外侧设置用于检测背景区域的背景检测框，使用该背景检测框确定需要检测膜厚的背景区域位置。

本发明的彩色滤色片膜厚测量方法，所述步骤S3还包括，使用白光干涉法测量所述识别圈之内对应的彩色滤色片的膜厚和背景检测框之内对应的彩色滤色片的膜厚。

本发明还提供一种彩色滤色片膜厚测量装置，包括：

彩色摄像机，用于拍摄彩色滤色片，获取彩色滤色片的彩色图像；

与彩色摄像机相连的色阶识别组件，用于对采集到的彩色图像进行色阶匹配，识别出彩色图像中的各个具有不同颜色的颜色区域以及背景区域；

与色阶识别组件相连的定位识别组件，用于定位测量到每一种颜色区域的中心；

与定位识别组件相连的膜厚测量组件，用于对一种颜色区域的中心膜厚和背景区域的膜厚进行测量，并将在该颜色区域的中心点处相对于背景区域的高度记录为该颜色区域的膜厚。

本发明的彩色滤色片膜厚测量装置，所述定位测量组件包括带有准星的检测框，定位测量组件移动所述检测框至所述颜色区域上，使准星处于颜色区域的中心区域内。

本发明的彩色滤色片膜厚测量装置，所述检测框的准星上设置有直径为20微米至40微米的识别圈，当所述识别圈处于待检测的颜色区域内时，确定所述准星处于颜色区域的中心区域内。

本发明的彩色滤色片膜厚测量装置，所述检测框的外侧设有用于检测背景区域的背景检测框，所述背景检测框用于确定需要检测膜厚的背景区域位置。

本发明的彩色滤色片膜厚测量装置，所述膜厚测量组件为白光干涉仪，所述白光干涉仪测量所述识别圈之内对应的彩色滤色片的膜厚和背景检测框之内对应的彩色滤色片的膜厚。

实施本发明的彩色滤色片膜厚测量方法及装置，能够准确分辨出彩色滤色片上的R、G、B的不同颜色的区域，同时通过测量颜色区域的正中位置，避免了因测量人员的选定测量区域的不同而导致的测量结果差异，还能消除因检测的彩色滤色片的摆放不平整而引起的测量误差。

附图说明