[发明专利]基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器

权利要求书

1.一种基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器，包括滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4），其特征在于，滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4）之间包括形成S型弯折结构的若干段，各段内部包括：上地平面（15）、下地平面（11）、上信号线（16）、下信号线（12）、上支撑薄膜（17）、下支撑薄膜（13）、上结合壁（18）、下结合壁（14），下地平面（11）采用多晶硅材料沉积，下地平面（11）上表面镀良导体；然后沉积结合壁（14）并刻蚀出中央空槽，在中央空槽上键合下支撑薄膜（13）和金属材料制作的下信号线（12）；接着用多晶硅材料加高下结合壁（14）的两侧以使上信号线（16）、下信号线（12）隔开；以同样的方法制作上半部分，最后将上下对称的两部分通过键合上结合壁（18）和下结合壁（14）即得到一段。

2.根据权利要求1所述的基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器，其特征在于，滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4）之间包括第一段（21）、第二段（22）、第三段（23）、第四段（24），四段之间通过连接部分中的结合部分（34）直接连接；结合部分（34）在滤波器第一段（21）和第二段（22）之间、第三段和第四段之间连接的是上信号线（16），而在滤波器第二段（22）和第三段（23）之间连接的是下信号线（12）；输入信号通过滤波器输入端（1）输入，下信号线（12）与下地平面（11）组成的下半部分传输线和上信号线（16）与上地平面（15）组成的上半部分传输线形成功率耦合，通过调整上信号线（16）、下信号线（12）之间的距离、上信号线（16）、下信号线（12）与上地平面（15）、下地平面（11）之间的距离，以及上信号线（16）、下信号线（12）的宽度，从下半部分传输线耦合到上半部分传输线的信号在工作频带外会受到抑制；接着信号经滤波器第一段（21）的上半部分传输线通过第一段、第二段滤波器之间的连接部分（31）直接传输到滤波器第二段（22）的上半部分传输线，然后耦合到滤波器第二段（22）下半部分传输线；接着信号经滤波器第二段（22）的下半部分传输线通过第二段、第三段滤波器之间的连接部分（32）直接传输到滤波器第三段（23）的下半部分传输线，然后耦合到滤波器第三段（23）上半部分传输线；接着信号经滤波器第三段（23）的上半部分传输线通过第三段、第四段滤波器之间的连接部分（33）直接传输到滤波器第四段（24）的上半部分传输线，最后信号被耦合到滤波器第四段（24）的下半部分传输线并通过滤波器输出端（4）输出；经过四段耦合，工作频带外的信号得到进一步抑制，实现了满足性能指标的滤波功能。