[发明专利]带保护结构的匀胶机托盘

权利要求书

1.一种带保护结构的匀胶机托盘，其特征在于，包括：硅片承片台、真空吸片结构和伞状保护结构；

所述硅片承片台包括：硅片承载平面、储胶槽和凸台，所述硅片承载平面位于所述硅片承片台的上端，所述硅片承载平面为一圆形水平面，所述储胶槽为沿着硅片承载平面的圆心开设的圆形杯体结构的凹槽，所述凸台位于所述储胶槽的中间；

所述真空吸片结构包括：上端和真空吸片口，所述上端位于所述凸台内，所述真空吸片口位于所述上端的顶部，并且所述真空吸片口与所述硅片承载平面间的垂直距离大于3mm；

所述伞状保护结构安装在所述凸台的顶部，位于所述储胶槽内。

2.根据权利要求1所述的带保护结构的匀胶机托盘，其特征在于，所述储胶槽包括槽口和槽底，并且所述槽口的面积大于槽底的面积。

3.根据权利要求1所述的带保护结构的匀胶机托盘，其特征在于，所述凸台为圆台型结构，并且所述凸台的顶端设有安装孔。

4.根据权利要求1或3所述的带保护结构的匀胶机托盘，其特征在于，所述伞状保护结构包括：安装轴和保护伞体，所述安装轴的下端安装在所述安装孔中，所述保护伞体位于所述安装轴的上端。

5.根据权利要求1所述的带保护结构的匀胶机托盘，其特征在于，所述真空吸片口的圆心与所述硅片承载平面的圆心在同一垂直线上。