[发明专利]一种基板传输装置

权利要求书

1.一种基板传输装置，其特征在于，包括：

基板传输单元，其沿水平方向放置，且沿水平方向的一端为铰接端、另一端为自由端；

支撑单元，其位于所述基板传输单元的下方、且固定不动；

驱动单元，其与所述基板传输单元连接，用于驱动所述基板传输单元沿竖直方向移动；

在所述基板传输单元下降时，其底部与所述支撑单元的顶部接触，并以其与所述支撑单元的接触点为中心转动，使所述基板传输单元倾斜。

2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，还包括缓冲单元，所述缓冲单元固定在所述基板传输单元的下方，且所述缓冲单元的最顶部高于所述支撑单元的最顶部；

在所述基板传输单元下降时先与所述缓冲单元的最顶部接触，并压缩所述缓冲单元，当压缩至使所述缓冲单元的最顶部与所述支撑单元的顶部齐平时，所述基板传输单元的底部与所述支撑单元的顶部接触；当压缩至使所述缓冲单元的最顶部低于所述支撑单元的顶部时，所述基板传输单元以其与所支撑单元的接触点为中心转动，使所述基板传输单元倾斜。

3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板传输单元包括传输板，所述传输板的一端为铰接端、另一端为自由端，且所述传输板的底部与所述支撑单元相对的位置设有卡槽，所述卡槽用于卡住所述支撑单元。

4.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述支撑单元包括支撑柱，所述支撑柱固定在支撑平台上，所述支撑柱的顶端为曲面，对应地，所述卡槽与所述支撑柱接触的部分为曲面。

5.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述缓冲单元包括第一缓冲件，所述第一缓冲件固定在所述支撑平台上，所述第一缓冲件的顶部高于所述支撑单元的顶部。

6.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，还包括固定在所述支撑平台上的第二缓冲件，所述第二缓冲件位于所述第一缓冲件和所述支撑单元之间，且所述第二缓冲件的顶部介于所述第一缓冲件的顶部和所述支撑单元的顶部之间。

7.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动轴，所述驱动轴的一端连接有第一丝杠、另一端连接有第二丝杠，所述第一丝杠滑动连接有第一滑块，所述第二丝杠滑动连接有第二滑块，所述第一滑块和第二滑块对称设置，所述传输板的铰接端与所述第一滑块铰接、自由端与所述第二滑块接触。

8.根据权利要求7所述的基板传输装置，其特征在于，所述第一滑块水平伸出有第一安装板，所述第一安装板上铰接有转动件，所述转动件与所述传输板的铰接端连接。

9.根据权利要求7所述的基板传输装置，其特征在于，所述第二滑块水平伸出有第二安装板，所述第二安装板上设有开口向上的凹槽，所述传输板的自由端设有可容纳在所述凹槽内的凸台。

10.根据权利要求7所述的基板传输装置，其特征在于，所述第一丝杠或所述第二丝杠设有第一传感器和第二传感器，所述第一传感器位于所述基板传输装置上极限位置处，所述第二传感器位于所述基板传输装置下极限的位置处。