[发明专利]高温合金氧化膜原位动态实时应力测试技术

权利要求书

1.“阿基米德曲线薄片矩量法”测试氧化膜应力技术是本发明专利的核心技术，阿基米德曲线也称渐开线，该技术可以应用到高温合金氧化膜之外的薄膜覆层涂层等的应力测试，涉及到阿基米德曲线或渐开线薄片矩量的应力测试技术均属对本发明的侵权行为。

2.高温合金氧化膜应力测试装置核心由真空系统、加热温控系统、显微读数系统组成，系统设备不局限于牌号、型号与容量。

3.氧化膜应力测试中，采用“真空升温-恒温氧化”工艺措施实现高温合金氧化膜纯生长应力测试，恒温氧化不局限于大气氧化，可以是其它腐蚀气体的氧化测试。

4.氧化膜应力测试中，采用“恒温氧化-真空降温”工艺措施实现高温合金氧化膜纯热应力测试，恒温氧化不局限于大气氧化，可以是其它腐蚀气体的氧化测试。