[发明专利]一种用于光刻机角度镜接边抛光的方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，特别是一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，该角度镜主要用于分步投影光刻机标记的位置对准，该项成果直接影响到分步投影光刻机里的硅片向位光栅自动对准。

背景技术

传统的抛光方法在抛光过程中,抛光面边缘处容易堆积大量地抛光液体和残留抛光粉,导致抛光面边缘研磨去除量增加,使得抛光面边缘出现塌陷即塌边，从而导致抛光面表面粗糙度及面型精度降低。为了获得较好地抛光面表面粗糙度及面型精度,通常只能牺牲有效抛光面积,减小通光孔径来得到，或通过反复边缘修正来实现。严重减低了产品生产效率,很难达到理想的表变质量。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，使角度镜符合所需的表面粗糙度和面型精度,满足光刻机向位光栅自动对准要求。

为了实现上述目的,本发明的技术解决方案是：

一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，其特点在于，该方法包括下列步骤：

①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；

所述的接边框架呈平行四边回字形,该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸；

②建立超净工作室和1级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作；

③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布,将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上；

④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内,角度镜的角度面与接边框架上平面重合，使待抛光面与接边框架底面在同一个平面；

⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件，人眼观察该角镜组合件，不得出现接缝形成无缝连接；

⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面,要求抛光面平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米；

⑦将框架角镜组合件水平放置在抛光机的工作台面上,打开抛光机真空吸附功能,使得框架角镜组合件下基准面与抛光机工作台面紧密结合,将待抛光面水平放置进行抛光并修正；

⑧将完成抛光的框架角镜组合件侵入融化剂，分离接边框架和角度镜。

所述的填充剂是由双组合环氧树脂胶和加固原料按照一定比例混合而成,该加固原料需要根据所抛光零件材料的物理特性来选择性能相近的原料。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

★通过接边框架，角镜抛光的边缘塌陷区域宽度尺寸为不加接边框架的角镜塌陷区域宽度尺寸的1/3—1/4；

★在相同外形尺寸条件下,扩大了抛光面的通光孔径,减轻工件质量；

★在达到角镜所需的表面粗糙度和面型精度,提高了抛光效率；

★降低生产成本提高了产品合格率，符合高质量要求。

★确保角镜完全符合分步光刻机向位光栅自动对准要求。

附图说明

图1是本发明中框架角镜组合件的主视图。

图2是本发明中框架角镜组合件的剖视图。

图3是使用本发明方法的接边角镜抛光检验结果。

图4是未使用本发明方法的接边角镜抛光检验结果。

图中：1－接边框架、2－角镜。

图3、图4中：X－测量长度、Y－测量点垂直高度

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

准备二件玻璃角度镜,抛光要求平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米。一件玻璃角度镜零件用于接边框架抛光,另一件玻璃角度镜零件不接边框架抛光。二种抛光测量参数进行效果对比。

①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；

所述的接边框架呈平行四边回字形,该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸,该接边框架具有一坡面，该坡面的倾斜角度与待加工角度镜的角度相适配；

②建立超净工作室和1级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作；

③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布,将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上；