[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，

其特征在于，

所述真空泵的至少一个组件（30）包括一种材料或由所述材料组成，其中所述材料包含金属和纳米微粒。

2.如权利要求1所述的真空泵，

其特征在于，

设置定子和至少一个转子体（30），其中所述转子体（30）对着所述定子被可旋转地安置。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，

其特征在于，

所述金属包括轻金属，例如铝并且特别是5083或2618类型的铝合金。

4.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

所述材料包含重量百分比在0.5至10%之间的，优选地重量百分比在1至9%之间的，进一步优选地重量百分比在2至4%之间的纳米微粒。

5.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

所述金属形成具有平均颗粒大小为在1和400nm之间的，特别是在1和200nm之间的颗粒，其中优选地，所述颗粒通过所述纳米微粒被至少部分地互相分开。

6.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

所述纳米微粒具有为至少3的长宽比，优选为至少10的长宽比，特别优选为至少30的长宽比。

7.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

碳纳米管作为纳米微粒被提供，所述碳纳米管具有带有多个卷起的石墨层的卷轴式结构，其中每个石墨层包括两个或多个连续排列的石墨烯片（58）。

8.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

所述材料通过粉末冶金法从包含金属和纳米微粒的粉末状复合材料获得，其中所述粉末状复合材料优选地通过具有纳米微粒的金属粉末的机械合金化获得。

9.如前述权利要求中任一项所述的真空泵，

其特征在于，

所述组件是所述真空泵的转子体，并且特别包括所述真空泵的涡轮分子泵级的转子盘（30）或由所述转子盘（30）组成。

10.如权利要求9所述的真空泵，

其特征在于，

所述转子盘（30）包括多个转子叶片（28），所述转子叶片（28）分别完全地或部分地由所述材料组成。

11.一种用于制造真空泵的方法，特别是制造如前述权利要求中任一项所述的真空泵的方法，所述方法包括，所述真空泵的至少一个组件（30）至少部分地由包含金属和纳米微粒的材料制造。

12.如权利要求11所述的方法，

其特征在于，

所述组件（30）的形成包括对至少部分地由所述材料形成的、用于所述组件的基体（78）的机械加工，其中所述加工包括特别是材料去除加工。

13.如权利要求11或12所述的方法，

其特征在于，

粉末状复合材料被提供，所述粉末状复合材料包含金属和纳米微粒，并且所述粉末状复合材料通过粉末冶金法被加工成所述组件或用于所述组件（30）的基体。

14.如权利要求13所述的方法，

其特征在于，

粉末状复合材料的提供包括具有纳米微粒的金属粉末的机械合金化，其中所述合金化特别是以如下方式实施，即在所述粉末状复合材料中，所述金属具有大小在1和200nm之间的平均颗粒，其中所述金属的颗粒通过所述纳米微粒被至少部分地互相分开。

15.一种通过根据权利要求11至14中任一项所述的方法获得的或可得到的真空泵。