[发明专利]一种提高真空面源黑体均匀性的精细划分控制系统

权利要求书

1.一种提高真空面源黑体均匀性的精细划分控制系统，其特征在于包括温度控制仪表、温度传感器、信号调理电路、面源黑体辐射源；所述面源黑体辐射源设有N个区域，每一区域设置一加热片，所述信号调理电路为一分N信号调理电路；所述信号调理电路的电压信号输入端与所述温度控制仪表的电压信号输出端连接，其每一电压信号输出端口分别经一程控电源与一所述加热片连接；所述温度传感器设于所述面源黑体辐射源上，并通过数据线与所述温度控制仪表的信号输入端连接；其中，N为大于1的自然数。

2.如权利要求1所述的精细划分控制系统，其特征在于所述信号调理电路包括电源模块、信号跟随电路与增益可调的信号分路电路；所述电源模块的输入端与电源端口连接，其输出端与所述信号跟随电路的电源端、所述信号分路电路的电源端连接；所述信号跟随电路的电压信号输出端经所述信号分路电路与所述程控电源连接。

3.如权利要求2所述的精细划分控制系统，其特征在于所述信号调理电路还包括两去耦电路，分别与所述电源模块的输出端连接。

4.如权利要求2或3所述的精细划分控制系统，其特征在于所述信号跟随电路为一运算放大器；所述运算放大器连接为电压跟随器形式。

5.如权利要求2或3所述的精细划分控制系统，其特征在于所述信号分路电路包括N个支路，每一支路为一同相放大器；所述同相放大器的信号输入负端与信号输出端之间连接一可变电阻。

6.如权利要求5所述的精细划分控制系统，其特征在于每一所述支路分别经一金属膜电阻与所述运算放大器的电压信号输出端连接。

7.如权利要求3所述的精细划分控制系统，其特征在于所述去耦电路包括并联的M个相同电容值的电容，每一电容的一端与所述电源模块的一输出端连接，另一端与地线连接。

8.如权利要求2或7所述的精细划分控制系统，其特征在于所述电源模块的输出端与公共端之间分别并接一组滤波电容。

9.如权利要求1所述的精细划分控制系统，其特征在于所述温度传感器设置于所述面源黑体辐射源的中间部位。

10.如权利要求1所述的精细划分控制系统，其特征在于所述加热片为阻性加热片。