[发明专利]一种零位传感器调节装置及方法在审

专利信息
申请号: 201310621314.9 申请日: 2013-11-29
公开(公告)号: CN104677271A 公开(公告)日: 2015-06-03
发明(设计)人: 王凯 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G03F7/20
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 王光辉
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 零位 传感器 调节 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种零位传感器,其特征在于,包括:

一基座,用于定位、支撑和包纳所述零位传感器;

一调节板,包括第一定位销,所述调节板可在所述基座一面滑动,所述调节板上设有第一定位孔和锁紧装置,所述锁紧装置用于锁紧所述调节板与基座的相对位置;

激光准直镜,用于发射激光,所述激光准直镜安装在所述基座上; 

角锥反射镜,具有三个相互垂直的光反射面和一个大圆端面,用于接收和反射所述激光准直镜的入射光;

位置传感器,用于接收所述激光的反射光,所述反射光在所述位置传感器上形成反射光斑,所述位置传感器安装在所述基座上,所述位置传感器与激光准直镜的位置相对固定。

2.如权利要求1所述的零位传感器,其特征在于,所述激光准直镜通过安装孔安装在所述基座上,所述位置传感器通过定位面安装在所述基座上,所述安装孔和所述定位面处于同一平面上。

3.如权利要求1所述的零位传感器,其特征在于,所述调节板为一长方体金属板。

4.如权利要求1所述的零位传感器,其特征在于,所述基座设有对外安装接口及对内元器件固定接口。

5.如权利要求1所述的零位传感器,其特征在于,所述第一定位销和第一定位孔各为两个。

6.一种采用权利要求1所述的零位传感器的调节装置,其特征在于,还包括:

水平二维滑动台,用于调节所述基座和调节板的相对位置;

基座固定板,位于所述水平二维滑动台上,用于将所述基座固定在所述水平二维滑动台上;

调节板固定座,位于所述水平二维滑动台上,用于将所述调节板固定在所述水平二维滑动台上;

第二定位销和第二定位孔,位于所述调节板固定座上,所述第二定位销用作模拟测量基准,所述第一定位销可插入所述第二定位孔,所述第二定位销可插入所述第一定位孔,使得所述调节板与所述模拟测量基准固定。

7.如权利要求6所述的调节装置,其特征在于,所述水平二维滑动台包括基础部分和滑动部分,所述基座通过所述基座固定板与滑动部分连接,所述调节板通过所述调节板固定座与基础部分连接。

8.如权利要求6所述的调节装置,其特征在于,所述位置传感器为平面光电二维测量元件,所述零位传感器、水平二维滑动台、基座固定板和调节板固定座的数量各为三个。

9.一种使用权利要求6所述的调节装置进行调节的方法,其特征在于,包括:

步骤一:使所述角锥反射镜相对所述第二定位销固定;

步骤二:通过调节所述滑动部分改变所述基座相对于所述调节板位置,使所述反射光斑照射到所述位置传感器感光面中心;

步骤三:通过所述锁紧装置锁定所述激光准直镜与位置传感器相对于所述第二定位销的位置,使得所述零位传感器归零。

10.如权利要求9所述的调节的方法,其特征在于,还包括:

步骤四:将归零后的零位传感器从所述水平二维滑动台卸下,通过所述第一定位销将零位传感器定位到所述实际测量基准上,所述角锥反射镜则被镜座固定在被测工件上;

步骤五:所述被测工件带动所述角锥反射镜运动到零位时,所述位置传感器与激光准直镜的位置使得所述反射光斑照射到所述位置传感器感光面中心,完成所述被测工件相对于所述实际测量基准的零位对准。

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