[发明专利]一种用直流蒸发法制取新型Co纳米颗粒的方法有效
申请号: | 201310602880.5 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN103586478A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 李志杰;孙维民;史桂梅;张旭东;杨林梅 | 申请(专利权)人: | 沈阳工业大学 |
主分类号: | B22F9/12 | 分类号: | B22F9/12 |
代理公司: | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人: | 宋铁军 |
地址: | 110870 辽宁省沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直流 蒸发 法制 新型 co 纳米 颗粒 方法 | ||
1.一种用直流蒸发法制取新型Co纳米颗粒的方法,其特征在于:该方法的具体步骤如下:
①、把待蒸发的纯Co块置于钨舟中,上面有盖,盖上有小孔,将钨舟固定在两个铜电极上,先将管道和真空室粗抽至5Pa的环境;
②、用氩气或氖气将管道和真空室内冲洗两次,再将真空室抽成气压为10-3Pa,最后充入氩或氖气体,气体的总压强为1×102Pa-4×103Pa;
③、打开循环水和电源,调节电流:先60-80A,停留3min,去除表面杂质,该时真空室上部的收集粉的硅片用挡板遮住,再调电流为200-300A,停留时间1~4min,在蒸发烟型稳定时,移开挡板,收集粉体,1~10min后,电流调为零;
④、用1~2×104Pa空气和8~7×104Pa氩气的混合气体循环钝化1~4h,停1h后充入1×104Pa空气,再循环钝化1h,制备新型Co纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的用直流蒸发法制取新型Co纳米颗粒的方法,其特征在于:制备出的新型Co纳米颗粒成近正四面体型,相邻棱角距离120nm。
3.根据权利要求1所述的用直流蒸发法制取新型Co纳米颗粒的方法,其特征在于:待蒸发的纯Co块设有5-8个,大小约为3×3×3mm;钨舟长100-130mm,宽10-15mm,厚0.6-1mm,上面有钨盖,钨盖上有1-3个直径1mm的小孔;所述用来冲洗的氩或氖气的纯度为99.99%。
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