[发明专利]中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器

权利要求书

1. 一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于包括信号输入端（1）、信号输出端（2）、中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器（3）、基底（4）、两个外矩形波导（5）、向下左外圆弧形波导（6）、两个中矩形波导（7）、两个内上矩形波导（8）、两个内下矩形波导（9）、两个内上圆弧形波导（10）、两个内下圆弧形波导（11）、两个长矩形波导（12）、圆环形波导（13）、向上右外圆弧形波导（14）；基底（4）的上表面设有两个外矩形波导（5）、向下左外圆弧形波导（6）、两个中矩形波导（7）、两个内上矩形波导（8）、两个内下矩形波导（9）、两个内上圆弧形波导（10）、两个内下圆弧形波导（11）、两个长矩形波导（12）、圆环形波导（13）、向上右外圆弧形波导（14）；两个外矩形波导（5）分别位于基底（4）的左右两侧，其中外矩形波导（5）与中矩形波导（7）相连，中矩形波导（7）再分别与内上矩形波导（8）、内下矩形波导（9）相连，内上矩形波导（8）经内上圆弧形波导（10）与一长矩形波导相连，内下矩形波导（9）经内下圆弧形波导（11）与另一长矩形波导相连，一长矩形波导与另一长矩形波导之间设有圆环形波导（13），左侧外矩形波导的中部上侧通过向下左外圆弧形波导（6）与中矩形波导（7）左侧上部相连，左侧外矩形波导的左端设有信号输入端（1），右侧外矩形波导的中部下侧通过向上右外圆弧形波导（14）与中矩形波导（7）右侧下部相连，右侧外矩形波导的右端设有信号输出端（2），信号从信号输入端（1）进入中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器（3）后信号输出端（2）输出。

2. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器（3）的长度为143μm~145μm，宽度为51μm~53μm，它由基底层和波导层组成，其中基底层的材料为二氧化硅，波导层的材料为硅，波导层厚度均为0.2μm~0.3μm。

3. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的基底（4）的长度为143μm~145μm，宽度为51μm~53μm，厚度为2.5μm~3.5μm。

4. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的外矩形波导（5）的长度为14μm~16μm，宽度为0.5μm~1.5μm。

5. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的向下左外圆弧形波导（6）的外径为7μm~9um，宽度为0.5μm~1.5μm，圆心角为40°到50°。

6. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的中矩形波导（7）的长度为15μm~17μm，宽度为13μm~15μm。

7. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的内上矩形波导（8）和内下矩形波导（9）的长度均为8μm~9μm，宽度均为0.5μm~1.5μm。

8. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的内上圆弧形波导（10）和内下圆弧形波导（11）的外径均为11μm~13μm，宽度均为0.5μm~1.5μm，圆心角均为45°到55°。

9. 根据权利要求1所述的一种中心圆形微环结构太赫兹偏振变换器，其特征在于所述的长矩形波导（12）的长度为47μm~49μm，宽度为0.5μm~1.5μm；所述的圆环形波导（13）的外径为9μm~11μm，宽度为0.5μm~1.5μm;所述的向上右外圆弧形波导（14）的外径为7μm~9um，宽度为0.5μm~1.5μm，圆心角为40°到50°。