[发明专利]钼管靶材的制造方法在审
申请号: | 201310594799.7 | 申请日: | 2013-11-21 |
公开(公告)号: | CN104646929A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 王铁军;穆健刚;张凤戈;马志伟;陈锦;王江廷;李强;郭建威;苏维丰 | 申请(专利权)人: | 安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;张向琨 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钼管靶材 制造 方法 | ||
1.一种钼管靶材的制造方法,其特征在于,以钼粉为原料,依次包括钼锭的制备步骤、一次机械加工步骤、挤压步骤、热处理步骤以及二次机械加工成成品步骤,其中:
在所述一次机械加工步骤中,按挤压要求将所述钼锭加工成具有规定内孔和外圆的圆柱形锭坯;
在所述挤压步骤中,将一次机械加工后的锭坯在900~1600℃条件下保温0.5~2h后进行挤压成型,变形量不小于70%;
在所述热处理步骤中,将挤压成型后的钼荒管在真空、惰性或氢气气氛下,在1250~1450℃保温0.5~4小时,然后随炉冷却。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在所述一次机械加工步骤中,所述锭坯的长度不大于1000mm。
3.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在所述挤压步骤中,将一次机械加工后的锭坯在1550℃-1600℃条件下保温1~2h后进行挤压成型。
4.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在所述挤压步骤中,所述变形量为70%-90%。
5.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在所述热处理步骤中,所述保温时间为2-4h。
6.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述钼锭的制备方法是真空熔炼或粉末冶金法,且得到的钼锭纯度为99.95%以上。
7.根据权利要求1-6任一所述的制造方法,其特征在于,所述钼锭的制备步骤具体为:采用粒度为2~4μm、纯度为99.98%以上的钼粉为原料,装粉后在200~250MPa下冷等静压,然后经整形再在2300~2400℃温度下通氢气保温8~12小时进行烧结,所述氢气流量为3~5m3/h,冷却后出炉,从而得到中空的管状钼锭。
8.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于,在所述钼锭的制备步骤中,装粉后在220Mpa~250MPa下冷等静压,然后经整形再在2300℃~2350℃温度下通氢气保温10~12小时进行烧结,所述氢气流量为3m3/h~4m3/h。
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