[发明专利]玻璃镀膜系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜装置，尤其是一种玻璃镀膜系统。

背景技术

随着近年来国家节能减排政策的执行以及人们对低碳环保意识的加强，节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。如图1所示，在生产节能玻璃的镀膜生产线中，相邻的两个阴极，在溅射过程中，可能要分别通入不同的反应气体，如通入不同反应气体7a和16a，进行反应镀膜，为了保证反应镀膜的纯净性，要求7a与16a气体不互相串通，不互相扩散。这就需要大大拉长相邻两个阴极之间的距离。一般要拉长到6~8个阴极隔舱，同时要在每一个隔舱中至少配备一至两台真空泵进行抽气，才能使气体7a与16a不互相串通扩散，这样使得整条生产线的长度大大加长，浪费了大量的空间，增加了生产线的制造成本。

如图1所示，为常规的节能玻璃镀膜生产线局部图，当真空室2a由真空泵8a抽取到一定的真空度时，隔舱室3a内，由隔舱室3a内的供气管1a，通入反应气体7a，置于隔舱室3a上部的阴极5a，开始工作，进行反应溅射。需要被镀膜的玻璃6a，由真空室2a底部的辊道4a传入真空室，当需要被镀膜的玻璃6a通过阴极5a下面时，玻璃表面被镀上一层膜。这就是真空镀膜。同理当玻璃被辊道传送到隔舱室15a区域内时，由隔舱室15a内的供气管13a，通入反应气体16a，置于隔舱室15a上部的阴极14a，开始工作，进行反应溅射，玻璃表面被镀上另外一种膜。为了保证隔舱3a、15a之间的气体不互相串通和扩散，需要有中间隔舱10a，以及配备的真空泵8a，这样气体7a在扩散到中间隔舱10a中，会被真空泵8a抽走一部分。同理，如果中间隔舱的数量足够多时，如中间隔舱11a，中间隔舱12a等，最终可以保证，隔舱3a、15a之间的气体不互相串通扩散。这样就导致整条生产线的长度要大大增加，配备的真空泵的数量也要大大增加，生产线的造价也大大提高。

 

发明内容

鉴于上述状况，有必要提供一种玻璃镀膜系统，其既可以保证各隔舱区内阴极气体不互相串通扩散，又能使两个阴极之间的距离大大缩短，同时在镀不同的厚度玻璃时，并不需停机、破坏真空、中断生产，只需在真空中进行调整，就可继续生产，并可连续生产不同厚度的玻璃。

为解决上述问题，提供一种玻璃镀膜系统，其用于对待镀膜玻璃进行镀膜，该玻璃镀膜系统包括第一镀膜舱、狭缝隔舱、第二镀膜舱及传送单元，该狭缝隔舱位于该第一镀膜舱与该第二镀膜舱之间，该传送单元位于该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱的下端，该传送单元用于在该第一镀膜舱、该狭缝隔舱及该第二镀膜舱内传送该待镀膜玻璃，该狭缝隔舱还包括狭缝板及与该狭缝板相连的升降模组，该狭缝板位于该传送单元上方，该升降模组与该狭缝板相连用于调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。

该升降模组包括伺服电机和偏心轮机构，该伺服电机设于该狭缝隔舱外，该偏心轮机构连接于该狭缝板，该伺服电机的输出轴连接有联轴器。

该偏心轮机构包括有固定在该狭缝隔舱侧壁上的轴承座，该轴承座上设有转动轴，该转动轴上设有偏心轮，该转动轴通过该联轴器与该伺服电机的输出轴连接。

该偏心轮与该狭缝板连接接触，该狭缝板通过该伺服电机的输出轴的转动带动该狭缝板的上下移动，从而调节该狭缝板与该传送单元之间的相对距离。

该伺服电机输出轴与该狭缝隔舱之间设有密封圈；该伺服电机输出轴与该密封圈之间设有真空密封组件。

该升降模组为两个，分别连接在该狭缝板的两侧。

该狭缝隔舱中的传送单元包括有两个平行辊道，该狭缝隔舱下端还固定设有底板，该两个平行辊道将该底板分成左底板、中底板和右底板，该底板表面未超出该两个平行辊道的最高点。

该第一镀膜舱和该第二镀膜舱的传送单元上方分别设有阴极，并分别设有供气管，该供气管连通有反应气体，该狭缝隔舱的传送单元上方设有真空泵。

该狭缝板中央设有狭缝抽气口，该狭缝抽气口设于该真空泵的正下方。

上述玻璃镀膜系统，通过在第一镀膜舱和第二镀膜舱之间安装可调狭缝系统，因此本系统宽度只需1~2个镀膜舱，就可不必再增加两个阴极之间的距离，也能保证不同镀膜舱内阴极气体不互相串通扩散。使两个阴极之间的距离大大缩短，同时本发明具有在真空中连续可调的特点，当生产不同厚度的玻璃时，并不需要采取停机、破坏真空、对狭缝进行调整的步骤，而中断生产，只需在真空中对狭缝板进行上下调整，使其适合不同待镀膜玻璃的厚度，使连续生产不同厚度的待镀膜玻璃成为可能。本发明玻璃镀膜系统可广泛应用于连续玻璃镀膜生产线上。

附图说明