[发明专利]除尘装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将附着在基板（显示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等）或薄板等被清洗物的表面上的尘埃或污染微粒子等剥离而使其浮游，并将该浮游物吸引除去的除尘装置。

背景技术

一直以来，作为附着在基板（显示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等）或薄板等上的尘埃或污染微粒子等的除尘装置，已知有例如专利文献1的除尘装置。该除尘装置构成为，配置有具备喷射高压空气的空气喷出用狭缝的供气腔室和在该供气腔室的两侧具备空气吸气用狭缝的吸气腔室，从空气喷出用狭缝朝向在搬运路上搬运的被清洗物喷射高压空气，在利用其风压将附着于被清洗物的尘埃或污染微粒子等（以下，简称为灰尘）剥离之后，从空气吸气用狭缝向各吸气腔室内吸引除去。

另外，本申请申请人在专利文献2中，提出了沿着包装体（供气腔室）的长度方向断续或连续地形成有长条的空气喷出用狭缝的空气幕装置。该专利文献2所示的装置用作为在清洗领域等中将玻璃基板上的水滴吹飞的空气幕装置，但是若在喷射高压空气的供气腔室的两侧配置专利文献1所示的吸气腔室，则即使转用成除尘装置，在结构上也简单。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-346515号公报

专利文献2：日本特愿2000-277252（日本特开2002-89925号公报）

发明内容

发明要解决的课题

在所述专利文献1、2所示的装置中，沿着供气腔室的长度方向形成有用于喷射高压空气的空气喷出用狭缝，但是作为该空气喷出用狭缝的形成方法，在专利文献2中，公开了断续地形成多个空气喷出用狭缝的方法和形成连续的一连串的空气喷出用狭缝的方法，但是在断续地形成多个空气喷出用狭缝时，存在局部未形成空气喷出用狭缝的部分，即，存在未向基板喷射空气的部位，因此可能导致除尘效果的下降。另一方面，在使空气喷出用狭缝连续开口时，由于向供气腔室内供给的空气的内压的不同，可能无法维持将长的吸气用狭缝的宽度保持恒定的状态。即，具有如下的课题：当沿着供气腔室的长度方向形成连续的吸气用狭缝时，该吸气用狭缝成为断开处，因供气腔室的内压而作为断开处的吸气用狭缝部分打开，从吸气用狭缝喷射的高压空气的喷射压也无法保持恒定，由于喷射压的强弱的不同而可能无法发挥稳定的除尘效果。

另外，这样的课题对于高速地吸引空气的吸气用狭缝也一样。即，具有如下的课题：当沿着吸气腔室的长度方向连续地形成吸气用狭缝时，由于供气腔室内的负压的不同而吸气用的狭缝局部变窄，空气的吸引压变得不均匀，尤其是从吸气用狭缝吸引不完灰尘时，由高压空气吹飞的灰尘向设置除尘机的清洁室等飞散，干净的环境也受损。

因此，本发明是着眼于上述课题而完成的，第一目的在于提供一种能够从沿着清洁头的长度方向形成的狭缝状的空气喷出口高压喷出稳定的均匀的空气而有效地使灰尘从被清洗物的表面剥离的除尘装置。

另外，本发明的第二目的在于提供一种能够稳定地吸引通过喷射的高压空气从被清洗物的表面剥离的灰尘，并有效地抑制灰尘的飞散的除尘装置。

用于解决课题的手段

本发明的除尘装置构成为，设有清洁头，该清洁头具备喷射高压空气的供气腔室和位于该供气腔室的两侧而吸入空气的一对吸气腔室，将该清洁头与搬运路相对配置，通过所述供气腔室朝向在所述搬运路上搬运的被清洗物的上表面喷射高压空气，使附着于被清洗物的灰尘剥离而浮游，并利用所述吸气腔室吸引该浮游物，所述除尘装置的特征在于，沿着所述清洁头的长度方向断续地形成多列空气喷出口，使所述多列空气喷出口呈狭缝状地开口，并且以使各列的各空气喷出口的端部重叠的方式将所述各列的空气喷出口呈锯齿状配置。

另外，本发明的除尘装置的特征在于，与所述空气喷出口平行地在该空气喷出口的两侧将与所述吸气腔室连通的多列空气吸入口呈锯齿状配置。

另外，本发明的除尘装置的特征在于，在所述空气吸入口的至少下端部内缘侧形成产生紊流的凹陷部。

另外，本发明的除尘装置的特征在于，在所述供气腔室内配置两端开放的内管，并且在该内管形成喷出用开口孔，从供气单元压送到所述供气腔室内的空气中，空气量的2/3向内管而剩余的1/3向内管与供气腔室之间分别分离地流入，而且，流入所述内管的空气的一半经由喷出用开口孔向所述供气腔室内排出，剩余的一半从内管的另一端部向供气腔室内排出，这些空气与向所述供气腔室内直接导入的空气一起从所述空气喷出口朝向所述被清洗物均匀地喷射。