[发明专利]一种平整度测试装置

说明书

技术领域

本发明公开了一种平整度测试装置，尤其涉及一种硬盘片研磨机的研磨盘平整度测试装置，属于电子设备领域。

背景技术

平面研磨机广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。平面研磨机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于平整的研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压或其它方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的。研磨盘平面度是研磨的基准，是得到精密工件平面的保证。在研磨的过程中，研磨盘的平面度会下降，主要原因研磨盘的内外线速度不同，磨损不一致造成。

目前，用于这个领域的平面度测试仪种类很多，但是价格昂贵，因此许多厂家采用手动测试平面度的办法，用一块平整的铁块将一盒很薄的铁片压在研磨盘上，一只手固定铁块，另一只手抽出薄铁片，观察是否能很容易的抽出铁片，如果很容易的抽出铁片，说明研磨盘该位置不平整，如果用很大力才能抽出或者不能抽出，说明该位置平整度很高，这种方法这能依靠人的经验来判断，精确性并不是很高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种平整度测试装置，解决了现有技术中平整度测试装置价钱高，采用人工判断平整度的精确度低的问题。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种平整度测试装置，包括本体，所属本体包括下部、上部，所述本体的下部包括水平平行设置的两个固定架，其中一个固定架位于本体底部，所述两个固定架上设置多对通孔对，且每对通孔的圆心连线垂直于水平面；所述每对通孔对内均设置活动柱体，所述活动柱体的一端设置导电体，另一端伸出位于本体底部；所述本体的上部设置托盘，所述托盘的底部与两个固定架水平平行设置，所述托盘的底部外侧设置与活动柱体一一对应的金属导体触点对，所述金属导体触点对中的两个触点之间的间距大于0；所述托盘内设置电源、LED灯，所述LED灯与金属导体触点对一一对应，所述LED灯的正极与金属导体触点对的一个触点连接，所述LED灯的负极与电源的负极连接，所述金属导体触点对的另一个触点与电源的正极连接，当活动柱体向上运动时，设置于活动柱体一端的导电体分别与金属导体触点对的两个触点连接，LED灯的电源接通，LED灯点亮。

所述活动柱体上设置限位装置，所述限位装置位于固定架的上部，用于防止活动柱体脱落。

所述活动柱体为圆柱体，所述圆柱体上设置凹槽，所述限位装置为圆环体，所述套接于圆柱体上的凹槽内。

还包括盖体，所述盖体设置于本体顶部，所述盖体上开设与LED灯一一对应的通孔，所述LED灯顶部部分伸出通孔。

还包括透明盖体，所述透明盖体设置于本体顶部。

所述活动柱体伸出本体底部的距离等于活动柱体一端导电体到金属导电触点对的距离。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

（1）该装置结构简单，精确度高，而且成本低。

（2）通过LED灯是否点亮来观察研磨盘平面是否平整，以及不平整的位置，方便了工艺管理人员，不需要靠手工测试平整度。

（3）设置了盖体，使得上部电路部分不需裸露在外，增加了安全性，通过透明盖体，可方便操作人员观察。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为图1中沿A-A剖面图部分结构示意图。

其中，图中的标识为：1-盖体；2-托盘；3-第一固定架；4-第二固定架；5-活动柱体；6-LED灯；7-LED灯负极；8-LED灯正极；9-第一导电触点；10-第二导电触点；11-导电体；12-限位装置。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的技术方案进行详细说明：