[发明专利]一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法

权利要求书

1.一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的装置，它包括：增压风机、气体精密过滤器、气体压缩机、气体预冷器、氨气深冷器、气液分离器、深度冷冻机、液氨接受兼高位槽、精馏塔釜兼汽化器、精馏塔提纯塔、塔顶冷凝器、塔顶高位槽、金属管占子流量计、自动调节阀、工业液氨接受罐，其特征是所述增压风机连接气体精密过滤器，气体精密过滤器连接气体压缩机，气体压缩机连接气体预冷器上端，气体预冷器右侧连接液氨接受兼高位槽，气体预冷器左侧连接气液分离器，气体预冷器下端连接氨气深冷器，氨气深冷器下方连接气液分离器，氨气深冷器右侧连接深度冷冻机，所述的液氨接受兼高位槽底部设有金属管占子流量计Ⅰ，金属管占子流量计Ⅰ连接自动调节阀Ⅰ并与精馏塔釜兼汽化器连接；所述的精馏塔釜兼汽化器上端中间位置处设有精馏塔提纯塔，所述的精馏塔提纯塔顶部通过导管连接塔顶冷凝器，所述的塔顶冷凝器上方右侧位置处设有金属管占子流量计Ⅳ和自动调节阀Ⅳ，塔顶冷凝器下方设有塔顶高位槽，所述的精馏塔提纯塔顶端右侧位置处设有自动调节阀Ⅱ，自动调节阀Ⅱ通过金属管占子流量计Ⅱ连接塔顶高位槽底部；所述的塔顶高位槽右侧下方三分之一位置处设有工业液氨出料口，出料口与金属管占子流量计Ⅲ连接，金属管占子流量计Ⅲ连接自动调节阀Ⅲ并与两个工业液氨接受罐连接，所述的精馏塔釜兼汽化器底部设有工业液氨充装口，工业液氨接受罐底部设有工业液氨充装口连接充装泵，用于工业液氨成品钢瓶充装。

2.一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法，其特征是该方法包括以下几个步骤：

（1）、增压风机将排放混合废气增压：LED气相沉积过程中排出的接近常压的氨气、氮气、氢气混合气体，用增压风机将常压气体增加到0.01MPa～0.06 MPa，以减轻道压缩机的吸气负担；

（2）、气体精密过滤器过滤：用过滤精度达到1um的气体精密过滤器，将气体中的颗粒物去除；

（3）、气体压缩机将混合废气增压：用气体压缩机将混合气体增压到1.0MPa～3.0MPa压力范围内；

（4）、压缩混合气体预冷：压缩以后的混合气体进入气体预冷器，使压缩气体从30℃～80℃降温到0℃～20℃；

（5）、进入氨气深冷器冷凝为液氨：降温以后的混合气体进入零下50℃～80℃有冷冻液循环的氨气深冷器，使混合气中的氨气全部液化成液氨；

（6）、混合气液进入气液分离器：上述经过增压、深冷的混合气液进入气体和液体的气液分离器，由于旋风分离和重力分离二作用，已冷凝的液氨沉积在分离器底部，没有冷凝的氮气、氢气从分离器上部排出；排出的氮气、氢气进入无害气体排放系统；

（7）、分离出的液氨进入液氨接受兼高位槽：气液分离后的液氨进入液氨接受兼高位槽，准备为下道精馏塔提纯液氨作加料；

（8）、精馏塔提纯：液氨接受兼高位槽中的液氨在压力平衡和液位存在下，经金属管占子流量计，经原料液氨加料口进入汽化器兼精馏塔塔釜。

3.根据权利要求1所述的一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的装置，其特征是所述的液氨接受兼高位槽液相口管道至少高出精馏塔釜兼汽化器进料口100CM。

4.根据权利要求2所述的一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法，其特征是所述的塔釜、塔顶温度最低为0℃，最高为30℃，压力最小为0.4Mpa，最大为1.2Mpa范围内，冷却水温度控制最低为-10℃，最高为20℃，塔顶冷凝器轻组份的放空与回流量之比最低为1:20，最高为1：120，加料量与塔顶放空量之比最低为1:20，最高为1：120。

5.根据权利要求2所述的一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法，其特征是所述的增压风机采用的是无腐蚀性无二次污染的304 L不锈钢材料，所述的气体精密过滤器是用四氟乙烯材料烧结而成的，无腐蚀、无污染，所述的气体压缩机是采用的无油润滑压缩机，不会对气体造成二次污染，所述的氨气深冷器是采用能耐用零下100℃以上的316L不锈钢材料制成，所述的气液分离器是采用能耐用零下100℃以上的316L不锈钢材料制成的镙旋式气液分离器。