[发明专利]一种酸性蚀刻液

权利要求书

1.化合物作为不产生氯气的酸性蚀刻液催化剂的应用，所述化合物对酸性蚀刻液中的一价和二价铜离子有络合作用或能生成稳定配合物，并且依据能斯特方程计算，络合或配合后的一价铜离子转化成二价铜离子的氧化还原电位下降直至小于氧在水溶液中的还原电位，使反应A的平衡即使在酸性高氯环境下也能顺利向生成二价铜离子的方向进行；其中，

2.根据权利要求1所述的应用，其特征在于，所述化合物选取下列化合物中一种化合物或多种化合物复配：含氨基、和/或酰基化氨基、和/或羟基、和/或羰基、和/或羟基酸基团、和/或硫基、和/或磺酸根的有机或无机化合物，或除氯离子外的卤族元素的酸及盐，或杂环化合物及杂环化合物的衍生物。

3.根据权利要求2所述的应用，其特征在于，所述化合物选取氨、乙二胺、EDTA、三乙醇胺、乙酰胺、DMF、胍、三乙烯四胺、多乙烯多胺中的一种化合物或多种化合物复配。

4.根据权利要求2所述的应用，其特征在于，所述化合物选取氨基丙酸、氨基乙酸、半胱氨酸、酒石酸、氨三乙酸、柠檬酸、甲磺酸、氨基磺酸、酚磺酸中的一种化合物或多种化合物复配。

5.根据权利要求2所述的应用，其特征在于，所述化合物选取属于杂环化合物及杂环化合物的衍生物化合物的吡啶、吡啶的衍生物、喹啉、喹啉衍生物、嘧啶、嘧啶衍生物中的一种化合物或多种化合物复配。

6.根据权利要求5所述的应用，其特征在于，所述化合物选取BTA、二硫基苯并噻唑、苯并咪唑、联吡啶、8-羟基喹啉中的一种化合物或多种化合物复配。

7.根据权利要求1～6任意一项权利要求所述的应用，其特征在于，所述化合物的含量为酸性蚀刻液质量的0.1%～15%。

8.不产生氯气的酸性蚀刻液中，包括母液和子液，其特征在于：

所述母液主要由氯化铜溶液、氯离子和氢离子组成，氯化铜以铜离子含量计算为80～180g/L，氢离子含量为0.3～5.0N，氯离子含量为160～330g/L，所述化合物的含量为占母液质量的0.1%-15%；母液为初始工作蚀刻液；所述子液主要由氯离子和氢离子组成，其中，氢离子含量为0.3～6.0N，氯离子含量为160～330g/L，所述化合物的含量为占子液质量的0.1%-15%；子液用于添加至母液中以维持蚀刻液中铜离子含量不变。

9.母液和子液中添加有权利要求1～6任意一项所述的化合物作为催化剂，化合物的添加量为蚀刻液总质量的0.1%～15%。