[发明专利]盐酸复合缓蚀剂

权利要求书

1.一种盐酸复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合缓蚀剂由以下组分按质量百分比组成：

盐酸                        3-7%；               

2-苯基咪唑啉季铵盐          0.05-0.35% ；

碘化钾                      0.05-0.17%；

三乙醇胺                    0.08-0.15%；

脂肪醇聚氧乙烯醚            0.02-0.05%；

烷基酚聚氧乙烯醚            0.016-0.027%;

余量为水。

2.根据权利要求1所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合缓蚀剂由以下组分按质量百分比组成：

盐酸                        3-6%；               

2-苯基咪唑啉季铵盐          0.05-0.15% ；

碘化钾                      0.05-0.11%；

三乙醇胺                    0.09-0.12%；

脂肪醇聚氧乙烯醚            0.02-0.04%；

烷基酚聚氧乙烯醚            0.016-0.024%；

余量为水。

3.根据权利要求书1或2所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗温度为50°C -60°C。

4.根据权利要求书3所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗时间为4-6h。

5. 根据权利要求书3所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗液使用时需用碱液调节PH3.5-4.0。

6. 根据权利要求书4所述股配缓蚀剂，其特征在于，所用碱液为氨水。