[发明专利]一种喷胶单元吸盘的清洗装置及其清洗方法

权利要求书

1.一种喷胶单元吸盘的清洗装置，其特征在于：包括旋转外环(3)和隔环(4)，其中旋转外环(3)设置于吸盘(2)的外侧边缘上，所述隔环(4)设置于吸盘(2)和旋转外环(3)之间、并位于吸附于吸盘(2)上的晶片(1)的下方。

2.按权利要求1所述的喷胶单元吸盘的清洗装置，其特征在于：所述吸盘(2)的外侧边缘沿周向设有止口，所述隔环(4)和旋转外环(3)均放置于该止口上。

3.按权利要求2所述的喷胶单元吸盘的清洗装置，其特征在于：所述隔环(4)的外侧为倒角结构，所述隔环(4)的倒角结构与旋转外环(3)之间形成用于容置从晶片(1)边缘流下的光刻胶的间隙。

4.按权利要求2所述的喷胶单元吸盘的清洗装置，其特征在于：所述隔环(4)的上表面与吸盘(2)的上表面位于同一平面，均接触晶片(1)。

5.一种按权利要求1-4任一项所述装置的清洗方法，其特征在于：喷胶单元工作时，光刻胶将于晶片(1)边缘流入隔环(4)与旋转外环(3)之间的区域，清洗时，将隔环(4)和旋转外环(3)取下清洗。