[发明专利]包含离子性化合物的光刻胶

权利要求书

1.一种光刻胶，其包含：

(a)一种或多种树脂，

(b)一种或多种酸生成剂；以及

(c)包含以下式(I)和/或式(II)的结构的化合物:

其中在式(I)中：

R¹,R²和R³中的一种或多种是相同的或不同的、任选取代的、包含1-4个碳原子的烷基；

R⁴是任选取代的，包含8-30个碳原子的烷基或杂烷基,

或者R¹,R²,R³和R⁴中的两个或更多个结合起来形成包含所示氮阳离子的杂环或杂芳环；

Y是抗衡阴离子；

其中，在式(II)中，

A是阴离子部分；

R是包含8-18个碳原子的直链烷基；以及

X是季铵阳离子；

式(I)中的Y或式(II)中的A-R包含氨基磺酸根部分或磺酸根部分。

2.如权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包含式(I)的化合物。

3.如权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述R¹,R²和R³中的至少一种包含1-2个碳原子。

4.如权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，Y和A-R各自的pKa为-2至5。

5.如权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包含式(II)的化合物。

6.一种光刻胶，其包含：

(a)一种或多种树脂，

(b)一种或多种酸生成剂；以及

(c)包含以下部分的离子性化合物:

选自以下的阳离子型部分:

其中n是12-18；

和选自以下的阴离子部分:

式中：

R₁₀是直链C₁-C₁₈烷基。

7.一种光刻胶，其包含：

(a)一种或多种树脂，

(b)一种或多种酸生成剂；以及

(c)选自环己基氨基磺酸十六烷基三甲基铵或1-十六烷基磺酸四丁基铵的离子性化合物。

8.一种形成光刻胶立体图像的方法，其包括：

(a)将权利要求1-7中任一项所述的光刻胶组合物的涂层施涂到基材上；

(b)使得所述光刻胶涂层对图案化的活化辐射曝光，并对曝光后的光刻胶层进行显影，以形成立体图像。