[发明专利]绝压值定量配制混合气体装置及方法

权利要求书

1.一种绝压值定量配制混合气体装置，其特征在于：包括若干原料气管路、一路底气管路、一路系统真空管路、一个压力调节气缸、一个绝压传感器、一个定量管和一个混合气体收集气缸，所述各个管路并联后与定量管的一端连接，所述定量管的另一端出口处连接混合气体收集气缸，所述压力调节气缸和绝压传感器安装在管路与定量管之间。

2.根据权利要求1所述的绝压值定量配制混合气体装置,其特征在于：所述装置设置若干电磁阀。

3.根据权利要求2所述的绝压值定量配制混合气体装置,其特征在于：所述电磁阀有五个，分别是电磁阀一、电磁阀二、电磁阀三、电磁阀四、电磁阀五；所述电磁阀一位于压力调节气缸端口处，所述电磁阀二位于定量管与管路一端的端口处，所述电磁阀三、电磁阀四、电磁阀五分别位于定量管出口处一端与混合气体收集气缸连接处的三个支路上。

4.根据权利要求1所述的绝压值定量配制混合气体装置,其特征在于：所述压力调节气缸与混合气体收集气缸分别设置直线电机。

5.一种绝压值定量配制混合气体方法，其特征在于利用权利要求1-4所述的装置，包括以下步骤：

1）系统真空抽取：关闭所有原料气阀门，打开电磁阀一、电磁阀二、电磁阀三、电磁阀五，通过真空抽取阀对系统进行抽真空，然后关闭所有阀门；

2）计算定量管压力：根据原料气的浓度、原料气的出口压力、所需配制混合气体各组分的浓度和定量管的体积计算出定量管内所需原料气的压力；

3）原料气定量及转移：设置原料气的出口压力为固定值P₀，通过计算得出配制该混合气定量管所需原料气的压力为P₁，当P₁> P₀时，打开原料气阀门、电磁阀二，原料气充入定量管，此时P₁=P₀，关闭电磁阀二，打开电磁阀一，将原料气充入压力调节气缸，关闭原料气阀门，再次打开电磁阀二，通过压力调节气缸对定量管进行压力补偿，当绝压传感器上的压力显示达到P₁时，关闭电磁阀一、电磁阀二，打开电磁阀三、电磁阀五，将定量管内的气体转移至混合气体收集气缸；当P₁> P₀时，打开原料气阀门、电磁阀二，原料气充入定量管，此时P₁=P₀，关闭原料气阀门，打开电磁阀一，通过压力调节气缸来调节，当绝压传感器上的压力显示达到P₁时，关闭电磁阀一、电磁阀二，打开电磁阀三、电磁阀五，将定量管内的气体转移至混合气体收集气缸，同时完成原料气的收集；

4）多组分混合气体配制： 两种及以上原料气的收集时除电磁阀五在系统抽取真空过程不需打开，其它过程重复以上步骤（3）;

5）底气的收集：根据目标配制的气体浓度计算出定量管所需底气的压力对底气进行收集，收集过程如步骤（3）；

6）混合气体的使用：所有原料气和底气收集完成后，打开电磁阀四、电磁阀五，将混合气体从气缸里排出使用。