[发明专利]一种纳米压印方法无效
| 申请号： | 201310511050.1 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103513511A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米压印方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）将单体溶液滴在要压印的衬底上；
（2）将模板压到衬底上，使单体溶液分散开并填充模板中的空腔；
（3）将步骤（2）所得的模板和衬底放入纳米压印机中，当衬底和模板光学对准后，用紫外光透过模板照射压印区域，固化成型后，移去模板；
（4）刻蚀残留层和进行图案转移。
2.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于：所述步骤（2）中将模板压到衬底上的压力为1～80N。
3.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于：所述单体溶液为甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的纳米压印方法，其特征在于：所述的模板可由硅、二氧化硅、碳化硅、氮化硅中的一种制成。
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