[发明专利]一种多活性吸附中心缓蚀剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种多活性吸附中心缓蚀剂组合物，包括如下组分：15~35质量份含氢聚二甲基硅氧烷，0.1~1.5质量份含乙烯基吡啶化合物，0.1~1.5质量份羟基苯胺，0.01~0.1质量份氯铂酸乙醇溶液，0.05~0.2质量份碱性催化剂，150~600质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B。

2.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括如下组分：15~25质量份含氢聚二甲基硅氧烷，0.25~1.0质量份含乙烯基吡啶化合物，0.25~1.0羟基苯胺，0.025~0.075质量份氯铂酸乙醇溶液，0.075~0.125质量份碱性催化剂，150~350质量份溶剂A和250~400质量份溶剂B。

3.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括如下组分：15~20质量份含氢聚二甲基硅氧烷，0.5~0.75质量份含乙烯基吡啶化合物，0.5~0.75羟基苯胺，0.05~0.075质量份氯铂酸乙醇溶液，0.075~0.1质量份碱性催化剂，150~250质量份溶剂A和250~350质量份溶剂B。

4.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷，分子量1000~5500，活性氢含量为0.2wt%~2.0wt%。

5.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷，分子量1500~3500，活性氢含量为0.2wt%~1.0wt%。

6.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷，分子量1500~2500，活性氢含量为0.3wt%~0.5wt%。

7.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含乙烯基吡啶化合物为2-乙烯基吡啶，3-乙烯基吡啶，4-乙烯基吡啶中的一种或几种。

8.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含乙烯基吡啶化合物为4-乙烯基吡啶。

9.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含乙烯基吡啶化合物为含有阻聚剂的含乙烯基吡啶化合物，所述阻聚剂为氢醌、四氯苯醌、l，4-萘醌中的一种，优选氢醌。

10.按照权利要求9所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述阻聚剂加入量为含乙烯基吡啶化合物质量的0.05%~0.5%，优选0.1%~0.2%。

11.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述羟基苯胺为2-羟基苯胺，3-羟基苯胺，4-羟基苯胺，3,5-二羟基苯胺、对羟基二苯胺中的一种或几种。

12.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述羟基苯胺为4-羟基苯胺和对羟基二苯胺。

13.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述碱性催化剂为氢氧化钠或氢氧化钾。

14.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂A为甲醇、乙醇、氯仿、丙酮、丙酮、甲苯或二甲苯中的一种，优选乙醇或苯。

15.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂B为乙醇、丙醇、乙醚或水，优选水。

16.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述氯铂酸乙醇溶液中Pt含量为0.1~1.5wt%，优选0.1~0.5wt%。

17.权利要求1~16中任一权利要求所述有机硅缓蚀剂组合物制备方法，包括如下步骤：

（1）在搅拌的条件下，将含氢聚二甲基硅氧烷以及加入了阻聚剂的乙烯基吡啶混合物加入到溶剂A中，然后升温，在55~70℃条件下滴加氯铂酸异丙醇溶液，在氮气保护下反应2~10小时，反应混合物去除溶剂后，得到一次产物M；

（2）在氮气保护和高速搅拌条件下，向一次产物M中加入羟基苯胺和溶剂B，然后升温，在75~95℃条件下加入碱性催化剂，反应1~8小时，反应混合物经过抽提除去溶剂并经过滤后即为缓蚀剂组合物。