[发明专利]大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置

权利要求书

1.大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室、一对主放电电极和一对介质阻挡放电平板电极，主体腔室由绝缘材料制成；所述出气端口为窄缝状，主体腔室内靠近该出气端口的部分形成窄缝腔体，出气端口的宽度与厚度之比为5～100；所述主放电电极的放电端位于所述窄缝腔体处；所述平板电极位于进气端口与主放电电极之间，用来预电离工作气体；其特征在于：在窄缝腔体外侧，设置有永久磁铁，使得放电产生的电子和离子的行径发生改变。

2.根据权利要求1所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：在窄缝腔体外侧，对称设置有一对永久磁铁，磁场B方向与主放电区域的电流J垂直。

3.根据权利要求2所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：主体腔室内自进气端口至出气端口逐渐收缩或趋于扁平，或者主体腔室内整体即为窄缝腔体。

4.根据权利要求3所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主体腔室内整体为长方体的窄缝腔体，平板电极的金属表面沿长方体宽边平行紧贴窄缝腔体外壁上，窄缝腔体的腔壁作为平板电极介质阻挡放电的绝缘介质层；平板电极与主放电电极沿工作气体流速方向的间距不小于1mm。

5.根据权利要求1至4任一所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：磁场B覆盖介质阻挡放电以及主放电区域，磁场B方向与主放电区域的电流J（主放电电场E）垂直，与介质阻挡放电电场平行，且J×B沿气体流动方向；永久磁铁与窄缝腔体外壁的距离不大于10mm；磁场B为500～20000高斯。

6.根据权利要求5所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：主放电电极的回路上还串联有限流电阻。

7.根据权利要求6所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：为平板电极提供放电电压的电源采用交流电源，交流电源的频率从工频至13.56MHz的射频范围内可调；电源模式为连续或脉冲形式；其中，平板电极的放电电流有效值不大于10mA。

8.根据权利要求7所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：平板电极介质阻挡放电功率不大于1W，工作气体流速为1～100L/min。

9.根据权利要求8所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主体腔室由聚四氟乙烯、绝缘陶瓷或两者的混合材料制成。

10.根据权利要求9所述的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主放电电极和平板电极均为铜、铝、钨、镍、钽、铂或其合金制成的电极，两个主放电电极相互正对的放电端面为平面或针尖状。