[发明专利]一种基于质谱仪的自反馈气体定量装置及其使用方法

权利要求书

1.一种基于质谱仪的自反馈气体定量装置，包括质谱仪；其特征在于：还包括控制系统、配气系统、压力控制器、抽气装置、至少一个控制阀、至少一个进样口；所述抽气装置通过连接管与压力控制器连接；所述配气系统通过连接管与所述控制阀连接；所述进样口通过连接管与所述控制阀连接；所述控制阀与所述压力控制器通过第一三通接头与所述质谱仪连接；所述质谱仪与所述控制系统电联接；所述配气系统与所述控制系统电联接；所述控制阀与所述控制系统电联接；所述压力控制器与所述控制系统电联接。

2.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的压力控制器与所述第一三通接头之间通过连接管连接有压力变送器；所述压力变送器与所述控制系统电联接。

3.根据权利要求2所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的压力变送器与所述压力控制器之间设置有第二三通接头；所述第二三通接头通过连接管连接有放空阀；所述放空阀与所述控制系统电联接。

4.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置还包括恒温装置。

5.根据权利要求4所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的恒温装置上设置有温度传感器，所述温度传感器与所述控制系统电联接。

6.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的控制阀是多路切换电动阀。

7.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的控制系统是计算机、PLC、集成电路块中的一种；所述控制系统包括I/O开关控制单元和模/数转换器。

8.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的配气系统是静态配气系统或动态配气系统中的一种。

9.根据权利要求1所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置，其特征在于所述的连接管是物化性质稳定的材料。

10.根据权利要求1至9任一权利要求所述的基于质谱仪的自反馈气体定量装置的使用方法，其特征在于所述的使用方法包括以下步骤：

将装置与待测样品容器或管路连接，初始化动态自反馈定量装置，检测连接的密封性；

将控制阀切换至关闭状态，启动所述抽气装置，打开压力控制装置的开关；当气路系统中为真空时，将控制阀切换至样品位置，气路系统中压强稳定后，启动质谱仪对气路系统中的样品气的组成和响应进行测试，同时测量气路系统中的压力；

根据测得的响应，对气体浓度进行估算，根据估算结果，调整标准气体的浓度，同时调整标准气体进样压力与样品进样压力一致，测量标准气体的响应；

利用外标法对样品进行定量，如果样品浓度与标样浓度偏差不满足要求，再次根据样品浓度对标准气体浓度进行调整，重复标样测试，直至样品浓度与标样浓度偏差满足要求。