[发明专利]探测器、被检体信息获取装置及制造探测器的方法

权利要求书

1.一种被配置为接收来自被检体的声波的探测器，该探测器包括：

元件，所述元件具有单元结构，其中支撑了具有一对电极之一的振动膜，使得该振动膜可被声波所振动，该对电极被形成为在其间布置有间隙；

光反射层，该光反射层相对于所述元件被设在靠近被检体的位置并且被配置为对光进行反射；以及

支撑层，该支撑层被设在所述元件与所述光反射层之间并且被配置为支撑所述光反射层，

其中，所述支撑层具有50MPa或更大的破裂应力。

2.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述支撑层具有与接触所述探测器的声介质的溶解度参数相隔5或更大的溶解度参数。

3.根据权利要求1或2所述的探测器，还包括设在所述振动膜与所述支撑层之间的声匹配层。

4.根据权利要求3所述的探测器，其中，所述支撑层具有比所述声匹配层的杨氏模量大的杨氏模量。

5.根据权利要求3所述的探测器，其中，所述声匹配层具有在1兆瑞利至2兆瑞利的范围中的声阻抗。

6.根据权利要求3所述的探测器，其中，所述声匹配层具有10MPa或更小的杨氏模量。

7.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述支撑层具有在1兆瑞利至5兆瑞利的范围中的声阻抗。

8.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述支撑层具有在100MPa至20GPa的范围中的杨氏模量。

9.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述支撑层具有30μm或更小的厚度。

10.根据权利要求1所述的探测器，还包括：

壳体，该壳体被配置为容纳所述元件，

其中，所述支撑层具有1.2%或更大的热收缩率，并且所述支撑层被粘结到所述壳体。

11.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述支撑层是由聚酯制成的。

12.根据权利要求11所述的探测器，其中，所述聚酯是聚对苯二甲酸乙二酯。

13.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述光反射层是由包含Au、Ag、Al和Cu中的至少一种元素的金属薄膜形成的。

14.根据权利要求1所述的探测器，其中，所述光反射层是由介电多层膜形成的。

15.一种被检体信息获取装置，包括：

根据权利要求1所述的探测器；

光源；以及

数据处理器，

其中，所述探测器接收来自被检体的声波并将所述声波转换成电信号，

其中，所述声波是由被来自所述光源的光照射的被检体生成的，并且

其中，所述数据处理器利用所述电信号来获取关于所述被检体的内部的信息。

16.一种制造探测器的方法，该探测器包括元件，所述元件具有单元结构，其中支撑了具有一对电极之一的振动膜，使得该振动膜可被声波所振动，该对电极被形成为在其间布置有间隙，所述方法包括：

在膜上形成光反射层；

将所述膜粘结到壳体；

利用声匹配剂填充所述壳体；以及

将具有所述元件的基板插入到填充有所述声匹配剂的所述壳体中，然后热固化所述声匹配剂。