[发明专利]可调式真空夹具

说明书

技术领域

本发明涉及夹紧装置，更具体地说，涉及一种可调式真空夹具。

背景技术

在通信、电子、机械制造、汽车、以及包装行业里，经常会有对平面工件（特别是小型平面工件）的装夹要求。以光通信领域为例，近年我国宽带接入和光纤到户的发展使平面光波导芯片产品的需求量猛增。平面光波导是将光波导制作到平面基板上的技术，是实现光通信大容量和光器件集成化的有效手段。平面波导可以制成阵列波导光栅，光分路器，多通道可调光衰减器、光开关等光器件。在光通信网络中间，光信号依赖平面光波导制成的阵列波导光栅被广泛用来实现波分复用以提高传输效率。在光通信的最末端，光纤到户阶段，平面光波导光分路器则提供了目前最有效的无源光网络宽带接入方案。

而在生产平面光波导芯片过程中，重要的步骤之一即对芯片进行测试。在测试过程中，要保证芯片的位置不发生改变，则需要将芯片进行夹紧后进行测试工作。市场上常见的夹紧装置的夹紧力通常是来源于螺纹的紧固力，但是容易对平面光波导光分路器芯片造成伤害。目前真空夹具作为被测件和测试设备之间的连接体，已经广泛地应用于各种自动测试设备。

在相关技术中，应用真空夹具进行测试时，首先将被测件放置于承载台上，打开真空开关抽走真空夹具中的空气，夹具即可吸合，夹住被测件进行测试工作。在测试完成后，关闭真空开关，空气进入真空夹具，被测件与真空夹具分离。

该真空夹具对被测芯片的尺寸要求严格，一种夹具只适合某一尺寸的芯片，真空夹具使用不灵活。但是在实际工作过程中，芯片尺寸大多不相同。在测试尺寸较大的芯片时，由于芯片过大，较小的夹具无法吸住该芯片，芯片在夹具中不稳定，影响芯片的测试效果。而芯片尺寸较小时，芯片不能覆盖承载台上的所有气孔，导致丧失真空，芯片不稳定从而影响测试效果。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，提供一种灵活的可调式真空夹具。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种可调式真空夹具，包括用于放置被测件的测试台、设置于所述测试台上的多个气孔单元、与所述多个气孔单元相通的真空管道以及与所述真空管道相连的真空发生器。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述真空管道靠近所述气孔单元的端还设置有可拆式密封件，以隔断所述真空管道和与其相通的气孔单元。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述真空管道包括分别与所述多个气孔单元相连通的多个支管以及将所述多个支管连通的总管，所述总管连接于所述真空发生器。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述支管包括第一管段与第二管段，且所述第一管段的内径大于所述第二管段的内径。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件包括密封螺丝，所述密封螺丝包括头部与螺纹部。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件设置于所述支管内，且所述头部位于第一管段内，所述螺纹部位于第二管段内。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述第二管段内壁面还设有与所述螺纹部相对的螺纹段。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件还包括密封垫片，所述密封垫片设置于所述密封螺丝与支管之间。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述气孔单元的大小大于或等于所述密封件的大小。

优选地，上述可调式真空夹具中，所述可调试真空夹具为芯片用可调式真空夹具，所述被测件为芯片。

综上所述，由于采取了上述技术方案，本发明的有益效果是：

由于本发明可调式真空夹具中在测试台上设置了多个气孔单元，并通过真空管道与多个气孔单元相通来吸紧被测件，使得本发明的真空夹具能灵活地适应多种尺寸的被测件，将被测件稳固地吸在测试台上进行测试。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明一个实施例的截面示意图；

图2是本发明实施例中测试台的结构示意图；

图3是本发明实施例中密封件的结构示意图。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本发明的具体实施方式。