[发明专利]有害气体的除害装置

说明书

技术领域

本发明涉及有害气体的除害装置。 

背景技术

在半导体制造工厂等，使用以包含砷或磷等的氢化物的挥发性无机氢化物、将其中的氢原子以卤素原子或烷基等取代的卤素化合物或有机化合物、氟或氯等酸性气体、或者氨或肼等碱性气体为代表的各种有害气体。将含有这些有害气体的废气排出到大气中之前，有必要进行有害气体成分的除害处理使其无害化。 

作为所需的除害处理，大多采用使废气流过填充有固体除害剂的除害筒，使有害气体成分吸附到除害剂上或通过除害剂的作用而分解的干式除害方法。然而，由于上述的固体除害剂的每单位量能够除害的有害气体的量是有固定的限度的，因此不能对超过所定量的有害气体进行吸附或者分解。即，使用被填充有一定量的除害剂的除害筒能够除害处理的有害气体的量是有限度的，当超过该限度的有害气体被导入时，超额部分的有害气体将不被除害而通过除害筒，所谓的突破现象便会发生。 

因此，为了防止从除害筒中漏出未处理的有害气体，有必要连续监视除害剂的突破的有无，在除害筒丧失除害能力之前停止其运转，进行除害剂的交换或再生等的更新。 

作为检测除害剂的突破的有无的方法，众所周知的方法是将通过与有害气体接触会变色的检测剂层状填充到主除害剂层和预备（副）除害剂层之间以设置检测剂层，通过被设置在除害筒的周壁部的有害气体流动方向的下方侧的观察窗，用目视或用彩色标记传感器来观察该检测剂层的变色，来检测主除害剂层的突破（参照专利文献1）。 

然而，在上述特许文献1所记载的检测方法中，存在尽管从被设置于除害筒的观察窗只能目视确认检测剂层的侧面部分，但比除害剂还昂贵的检测剂却要被填充到除害筒内的一定高度的整个层上的问题。 

因此，下述的专利文件2公开了为了减少上述检测剂的消耗量，将填充有检测剂的水平式圆筒状检测筒从除害筒的侧面插入，仅在除害剂层内的一部分设置检测剂层的方法。 

本文中，图4（a）～图4（c）是用于说明专利文献2公开的方法中所使用的除害筒的构成的图，是将插入有圆筒状检测筒的除害筒的侧面部分放大后的侧面图。如图4（a）所示，在现有的除害装置101的内侧，填充有层状设置的主除害剂层105A和预备除害剂层105B的除害剂层105。并且，除害筒102的壁102A上，插入有具备检测窗102B的水平式圆筒状的检测剂容器103。而且在该检测剂容器103内填充有构成检测剂层106的检测剂。由此形成在主除害剂层105A内的一部分设置检测剂层106的结构。而且，检测剂层106的下表面与主除害剂层105A和预备除害剂层105B的边界在同一高度。 

[现有技术文献] 

[专利文献] 

[专利文献1]特开平10-2894号公报 

[专利文献2]特许第4673780号公报 

然而，专利文献2所记载的只在除害剂层内的一部分设置检测剂层的方法，由于检测剂自身没有除害能力，如图4（a）所示，对于预备除害剂层105B，有在检测剂容器103正下方的部分比其它的检测剂容器103的周边，检测剂的消耗更快的问题。因此，若预备除害剂层105B的层厚不够，未除害的气体有可能从除害装置101流出，所以有必须加大预备除害剂层105B的填充高度的问题。 

而且，在除害筒102内的主除害剂层105A和预备除害剂层105B中，被填充有直径或长度为约1.5毫米～6毫米左右的粒状或丸状的除害剂，而在除害筒2的壁102A附近被填充到检测剂容器103内的检测剂比上述除害剂的粒径大的情况更多，增加了检测剂层106的空隙率。因此，流过除害筒2的壁102A附近的有害气体的流速比流过检测剂层106以外的主除害剂层105A的流速有容易变大的倾向（下文，称为“壁面效果”）。 

由于流过除害筒102内的有害气体的流速越大壁面效果越明显，如图4（a）所示，有更加促进没有除害能力的检测剂层106正下方的预备除害剂层105B的除害剂的消耗的问题。为了减小上述壁面效果的影响，增大除害筒102的直径，减小塔内的流速是有效的，但是存在着设备变成大型的缺点。 

发明内容

本发明是鉴于上述情况而形成的，目的在于提供在不损坏检测剂层的目视确认性，减少检测剂的填充量的同时，能够减少用于预备除害剂层的除害剂的填充量的除害装置。 

本发明为解决上述课题，提供具备以下结构的除害装置。