[发明专利]基于高分辨科学CCD相机的离轴抛物面镜调节方法

权利要求书

1.一种基于高分辨科学CCD相机的离轴抛物面镜调节方法，其特征在于，该方法是利用高分辨科学CCD相机，通过实时测量激光系统出射光束经离轴抛物面镜会聚后的焦点附近焦斑形状，来监控调节离轴抛物面镜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

A1系统准备：将所述离轴抛物面镜(7)固定在电动调节平移台(3)上，电动调节平移台(3)包含离轴角调节旋钮(4)、俯仰旋钮(5)、倾斜旋钮(6)，离轴角调节旋钮(4)通过旋转离轴抛物面镜(7)可用于调节离轴抛物面镜(7)的离轴角，俯仰旋钮(5)用于调节离轴抛物面镜(7)的俯仰，倾斜旋钮(6)用于调节离轴抛物面镜(7)的左右倾斜；出射光束(2)经离轴抛物面镜(7)会聚后形成会聚的焦点(8)，焦点(8)被具有高分辨率的科学CCD相机(9)检测；所述科学CCD相机(9)固定在焦点(8)附近，科学CCD相机(9)置于可水平方向移动的一维调节架上，先使科学CCD相机(9)在略微偏离焦点(8)中心的位置测量会聚焦斑；偏离程度以科学CCD相机(9)所测的焦斑，在大小上能明显体现焦斑的形状为准；移动电动调节平移台(3)，尽量使出射光束(2)照在离轴抛物面镜(7)中央；在调节离轴抛物面镜(7)前，加载小孔光阑(1)以使出射光束(2)为细光束，水平方向大距离移动科学CCD相机(9)并观察细光束在科学CCD相机(9)上的成像点，然后调节离轴抛物面镜(7)的俯仰旋钮(5)，以使细光束在科学CCD相机(9)等高位置成像；

A2粗调阶段：

A21首先调节电动调节平移台(3)的离轴角调节旋钮(4)，离轴抛物面镜(7)将绕自身中心轴旋转，使得成在科学CCD相机(9)上的焦斑形状为水平或垂直的扁平状光斑；此时，把科学CCD相机(9)移动到焦点(8)的前面和后面，要求焦点(8)前和后的焦斑要互相垂直，即：若焦前为水平扁平状光斑，则焦后应为垂直扁平状光斑，反之亦然；

A22调节电动调节平移台(3)的倾斜旋钮(6)，使得离焦位置的焦斑尽可能接近圆形；

A23前后移动科学CCD相机(9)，找到焦斑最小的位置，此位置为离轴抛物面镜(7)的焦点(8)处，利用科学CCD相机(9)观察焦斑的大小，并记录焦点(8)处焦斑尺寸；

A3精调阶段：

A31重复步骤A21，使得焦前、焦后的扁平状光斑尽可能细长；重复步骤A22，使得离焦位置的焦斑尽可能接近圆形，此时，会发现离焦位置的焦斑较前述的焦斑小；重复步骤A23，记录焦点处焦斑尺寸；

A32多次重复步骤A31，当利用科学CCD相机(9)记录的焦点处焦斑尺寸不再减小时，即观察到的焦斑为尽可能小且尽可能接近圆形的光斑时，调节结束。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，由于科学CCD相机不仅可对可见光感光，也可对红外及紫外等不可见波段的光感光，因此可用于各类输出波段高功率激光系统会聚抛物面镜的调节。