[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。

背景技术

例如，在便携电话、便携信息终端设备中，作为用于时刻源、控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，多使用利用了水晶等的压电振动器。关于此种压电振动器，已知在形成了空腔的封装件（package）内气密密封音叉型压电振动片的压电振动器。

上述封装件将形成了凹部的一个基板重合于另一个基板，通过接合两个基板，利用凹部形成空腔。

压电振动片具备：一对振动臂部，沿宽度方向平行地排列而配置；以及基部，悬臂支持这些一对振动臂部的基端部侧，采用一对振动臂部以基端部侧为起点而沿宽度方向相互接近、分离的方式以既定的频率振动（摇动）的构成。

另外，伴随近年来的便携电话、便携信息终端设备的小型化，对于压电振动器也谋求进一步的小型化、薄型化。因此，压电振动片与安装面（封装件内表面）在厚度方向上的间隙变得非常窄（例如，20μm～100μm左右）。其结果，当由下落等引起的冲击施加于压电振动器时，振动臂部沿厚度方向位移（挠性变形），作为自由端的振动臂部的顶端部有可能接触封装件的内表面。此时，由于接触时的冲击，在振动臂部的顶端部上招致裂缝、碎片等，有可能招致由此导致的频率的波动、在最坏的情况下招致振动臂部自身的破损。

因此，作为其对策，例如如下述专利文献1所示，在安装面中的与振动臂部的顶端部对应的部分形成用于避免振动臂部的顶端部与基底部件的干扰的凹部。

根据专利文献1，公开有如下主旨，即，即使下落等冲击导致振动臂部沿厚度方向位移，通过凹部的角部（开口缘部）与振动臂的中间部接触，也能够容易地避免振动臂部的顶端部与基底部件接触。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－119127号公报。

发明内容

然而，在上述现有技术中存在以下问题。

即，在将压电振动片安装在基底部件的安装面上时，将压电振动片载置并固定于涂布在安装面上的金属凸点(bump)、导电性粘合剂等。已知此时，以压电振动片相对于安装面平行地设置的方式进行安装，但受金属凸点、导电性粘合剂是具有流动性的物质这一点、安装条件的偏差、压电振动片的设计误差、基底部件的设计误差、或者制造装置的规格等影响，现状是多以相对于安装面倾斜的状态安装。

参照图17、图18对这一点更详细地进行说明。

首先，在压电振动片相对于基底部件的安装面平行地安装的理想的情况下，如图17所示，由于振动臂部200的主面200a相对于安装面为平行的，故当外部冲击等导致振动臂部200位移时，能够使凹部201的角部201a与振动臂部200的主面200a线接触。

然而，如上所述，由于压电振动片往往处于多少倾斜的状态，特别是沿压电振动片的宽度方向倾斜并安装，故实际上如图18所示，振动臂部200的主面200a相对于安装面倾斜，此时，当外部冲击等导致振动臂部200位移时，难以使凹部201的角部201a与振动臂部200的主面200a线接触。

由此可知，仅仅振动臂部200的棱线部200b接触凹部201的角部201a，应力局部地作用于强度上较脆的棱线部200b。其结果，应力集中于棱线部200b，从而在棱线部200b产生裂缝、碎片等，导致压电振动片的强度、振动特性降低等结果。即，在现有技术中，当压电振动片的安装精度存在偏差时，不能够可靠地防止在外部冲击时在压电振动片中产生裂缝、碎片等的情况。

因此，本发明为了解决上述问题，

目的在于提供当对于基底上的安装面安装的压电振动片的安装精度存在偏差时，也能够防止压电振动片因外部冲击等而与基底部件干扰并产生裂缝、碎片等的压电振动器、以及具备该压电振动器的振荡器、电子设备、电波钟表。

为了解决上述问题，本发明提供下列方案。

（1）本发明所涉及的压电振动器具备：基底部件；盖部件，与所述基底部件重合并接合，并且在与该基底部件之间形成气密密封的空腔；以及压电振动片，具有一对振动臂部和一体地支持该一对振动臂部的长度方向上的基端部的基部，在所述空腔内安装在所述基底部件的安装面上，其特征在于，在所述基底部件的安装面处，在与所述压电振动片的顶端部相向的区域形成有凹部，并且当从所述基底部件的安装面的法线方向看时，在所述凹部的开口缘部中，配置于所述压电振动片的基端部侧的开口缘部处，在与所述振动臂部的棱线部对应的部分形成有侵蚀所述基端部侧的退出部。