[发明专利]感光型聚酰亚胺

权利要求书

1.一种具下式(I)结构的感光型聚酰亚胺聚合物，

式(I)

其中：

A和C可相同或不同，各自独立为四价有机基团；

B为含有至少一个选自的二价有机基团；

其中R代表含有乙烯基的不饱和基团或为选自下述的基团：

其中：

R1为经取代或未经取代的具有C1-C20的饱和或不饱和有机基团，并且

R2为含有乙烯基的不饱和基团；

D各独立为二价有机基团；

n为大于0的整数，并且

m等于0或为大于0的整数。

2.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中所述含有乙烯基的不饱和基团是选自以下的基团：

其中：

R4和R5各为H或经取代或未经取代的具有C1-C5的烷基，并且

R6为共价键或经取代或未经取代的具有C1-C20的有机基团。

3.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中所述含有乙烯基的不饱和基团是选自以下的基团：

其中，z各自为0-6的整数。

4.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中R1是选自以下的基团：

其中：

o、p、q和r各为0或大于0的整数；

R4、R5和R6具有如权利要求2所述的定义；

R7各为H或为经取代或未经取代的具有C1-C12的有机基团；并且

R8为共价键或选自具有下列的有机基团：

5.如权利要求4所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中R1是选自以下的基团：

6.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中A和C各别选自由下列基团所构成的群组：

7.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中B的二价有机基团各自选自由下列基团所构成的群组：

其中：

R'为选自的有机基团，其中，R具有如权利要求1所述的定义；

R9为H、甲基或乙基；

s为1-4的整数；

t为0-5的整数；

u为等于0或为大于0的整数；

v为大于0的整数；并且

R11各代表共价键或选自下列的基团；

其中：

w和x各自为大于0的整数，并且

R12为共价键或为经取代或未经取代的具有C1-C18的有机基团。

8.如权利要求7所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中B的二价有机基团是选自由下列基团所构成的群组：

其中，R'具有如权利要求7所述的定义。

9.如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中D是选自由下列基团所构成的群组：

R''为-H、C1-C4烷基、C1-C4全氟烷基、甲氧基、乙氧基、卤素、OH、COOH、NH₂或SH；

R9和R11具有如权利要求7所述的定义；

c为0-4的整数；

a为大于0的整数；并且

b为大于0的整数。

10.如权利要求9所述的感光型聚酰亚胺聚合物，其中D是选自由下列基团所构成的群组：

其中，y为1-12的整数。

11.一种感光组成物，包含以组合物总重量计，至少1%的如权利要求1所述的感光型聚酰亚胺聚合物，和至少一种光起始剂。

12.如权利要求11所述的感光组成物，另包含具有反应性的单体或寡聚物。

13.如权利要求11或12所述的感光组成物，其用于液态光致抗蚀剂或干膜光致抗蚀剂。