[发明专利]收尘装置

说明书

技术领域

本发明涉及收尘领域，尤其涉及一种收尘装置。

背景技术

化学气相沉积过程是在真空状态下，气体通入到炉内，在真空的状态下沉积，设备一般会连接真空泵，真空泵对设备抽真空产生一定的负压。目前采用化学气相沉积方法生产各种材料的过程中一般会产生大量的粉尘，若粉尘处理不当不但会沉积到产品里面，使产品的性能降低，品质不达标，而且因化学气相沉积过程一般是真空状态，在设备的后面一般会连接机械泵，粉尘一旦进入到机械泵里面会严重影响机械泵的使用寿命，更重要的是通过机械泵抽过来的粉尘不便于收集，可能导致整个系统瘫痪，无法使用。

发明内容

鉴于背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种收尘装置，其能有效地去除粉尘。

本发明的另一目的在于提供一种收尘装置，其能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。

为了实现上述目的，本发明提供了一种收尘装置，其包括：主过滤器，连接于产尘装置的出气管以接收来自产尘装置的粉尘，主过滤器在下游端设有连接口；次过滤器，设置在主过滤器的下方，通过连接管与主过滤器下游端的连接口连接；两个平行过滤器，底部通过三通连接管分别与次过滤器的上端连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器，以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器的上部，以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。

本发明的有益效果如下：

本发明的收尘装置经过三级收尘之后可有效地去除粉尘；当产尘装置为化学气相沉积炉时，能够解决化学气相沉积过程中由于粉尘造成的一系列问题；操作简单；根据生产过程时间的长短以及粉尘的多少可以实现方便更换或者清洁，还能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。

附图说明

图1为根据本发明的收尘装置的结构示意图；

图2为图1的虚线圆圈部分的放大图。

其中，附图标记说明如下：

具体实施方式

下面参照附图来详细说明根据本发明的收尘装置。

参照图1，根据本发明的收尘装置包括：主过滤器1，连接于产尘装置10的出气管101以接收来自产尘装置10的粉尘，主过滤器1在下游端设有连接口11；次过滤器2，设置在主过滤器1的下方，通过连接管T1与主过滤器1下游端的连接口11连接；两个平行过滤器3，底部通过三通连接管T2分别与次过滤器2的上部连接并分别与次过滤器2受控连通，两个平行过滤器3的一个平行过滤器3为备用，以在两个平行过滤器3中的另一个平行过滤器3不能正常工作时，该备用的平行过滤器3启动并工作；三个收尘桶4，分别安装于次过滤器2与两个平行过滤器3的下方，并分别受控连通于次过滤器2与两个平行过滤器3，以用于收集次过滤器2与两个平行过滤器3里面的粉尘；以及机械泵5，受控连通于两个平行过滤器3的上部，以接收从两个平行过滤器3中的正常工作的平行过滤器3排出的气体并向外排出。

在主过滤器1的一实施例中，主过滤器1为不锈钢圆筒结构。优选地，主过滤器1安装时可相对于产尘装置10向下倾斜。因主过滤器1直接与产尘装置10的出气管101连接，考虑到使粉尘尽可能多的流动到下方的对应的收尘桶4里面，并且还需要考虑到不能使粉尘落到产尘装置10内，影响产品的质量，因此主过滤器1主要采用不锈钢圆筒和挡板15（后面所述）的结构。主过滤器1安装时相对于产尘装置10向下倾斜，有利于粉尘向下的流动。

在主过滤器1的一实施例中，主过滤器1与产尘装置10的本体通过法兰（未示出）连接。优选地，主过滤器1与产尘装置10的本体之间的连接采用密封圈进行密封。

在主过滤器1的一实施例中，参照图1，主过滤器1的一端设置有备用口13和测温口16，以用于分别安装测量产尘装置10内的真空度的真空度计以及测量温度的温度计。

在主过滤器1的一实施例中，参照图1，主过滤器1在其与产尘装置10的出气管101的连接处内设有倾斜并遮挡该连接处的单板14，以用于防止主过滤器1里面的粉尘落到产尘装置10内。在一实施例中，单板14的倾斜角度可为120度。