[发明专利]一种基板承载装置及基板整齐度检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置生产设备，尤其涉及到一种基板承载装置及基板整齐度检测方法。

背景技术

在TFT-LCD的生产中，为了方便基板在加工时的取用，通常将一定数量的基板放到一个承载装置中，如图1所示，图1示出了现有技术中的承载装置的结构，该承载装置包括承载台10，放置在承载台10上的支撑架20，该支撑架20具有多个支撑层21，基板50放置在该支撑层21内。在使用时，通过机械手60将基板50从支撑层21内取出或将基板50放入到支撑层21内，具体的，机械手60可以在水平和垂直两个方向运动，水平方向上通过机械手60的伸展可以放到支撑层21内的基板50的下方，然后通过升降台的垂直升起把基板50放到机械手60上，在机械手60缩回时将基板50取出，将基板50放入到支撑层21内的操作与上述操作相反，在此不再详细说明。

现有技术的缺陷在于，基板通常需要经过很多道工序，如：薄膜沉积、光刻、刻蚀、剥离、二次退火等，在加工过程中，需要通过机械手多次将基板从支撑架中取出或将基板放入到支撑架内。都会造成基板在支撑架内放置的整齐度，从而造成下次取用基板时造成基板碰损。

发明内容

本发明提供了一种基板承载装置，能够检测放入的基板的整齐度，提高了基板的安全性。

本发明提供的一种基板承载装置，包括：

设置于所述承载台的支撑架，所述支撑架具有多个沿高度方向排列并用于存储基板的支撑层；

设置于所述承载台或支撑架上并可相对所述支撑架水平移动的信号检测装置，所述信号检测装置包括信号发射器和信号接收器，其中，所述信号发射器和信号接收器中的任一个位于存储于所述支撑架内的多个被检测的基板的上方，另一个位于多个被检测的基板的下方，所述信号发射器发射沿高度方向检测多个基板侧边的检测信号，所述信号接收器接收所述检测信号；

控制装置，与所述信号接收器连接，用于根据信号接收器接收的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。

在上述技术方案中，通过采用信号检测装置和控制装置来检测放置在基板承载装置内的基板的整齐度，实现了对基板放置的检测，在出现问题后，操作者能够及时得知，避免了后续工序中基板在取出时被碰损的情况，提高了基板的安全性。

优选的，所述位移信息通过所述位移信息中的最大值和最小值之间的差值与检测的基板的数量以及相邻基板的距离之间设定的对应关系来确定整齐度。通过对应关系获得整齐度，使得基板承载装置可以在盛放不同尺寸的基板时也能检测基板是否放置整齐。

优选的，所述设定的对应关系为：Ali=1-(Max(Li)-Min(Li))/D*I；其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于1且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。

可选择的，所述信号发射器和信号接收器中的任一个滑动装配于所述支撑架的顶端，且另外一个固定于所述支撑架的底端。通过信号发射器和信号接收器中的一个滑动装配，另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。

可选择的，所述信号发射器和信号接收器中任一个固定设置于所述支撑架的顶端，且另外一个滑动装配于所述支撑架底端。通过信号发射器和信号接收器中的一个滑动装配，另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。

可选择的，所述支撑架设置于所述承载台上并可相对所述承载台滑动，所述信号发射器和所述信号接收器固定设置于所述承载台上，且所述信号发射器和信号接收器分别位于所述支撑架的上方和下方。通过信号发射器和信号接收器固定装配，支撑架移动的方式来检测玻璃的整齐度。

优选的，所述基板承载装置还包括报警器，所述报警器与所述控制装置连接，并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件时发出警报。使得操作者能够清晰的得到信息。

优选的，所述信号发射器为红外信号发射器，所述信号接收器为红外信号接收器。具有较佳的穿透功率。

本发明还提供了一种基板整齐度检测方法，应用上述任一种基板承载装置，包括以下步骤：

通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧边并发送检测信号；

根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，根据设定的对应关系来确定基板的整齐度。

优选的，还包括以下步骤：在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出报警。