[发明专利]扩散泵加热器

说明书

技术领域

本发明属于扩散泵技术领域，具体的说涉及一种扩散泵加热器。

背景技术

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。高真空泵扩散泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的气压强高于蒸气流中该气体的分压强，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵臂又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

扩散泵中重要组成部分的加热器属于现有技术产品，例如申请号为201010258016.4的发明专利公开的一种又扩散泵加热器，包括套管和设置在套管内和套管紧密接触的电热管，电热管从套管内延伸出并外接电源线；电热管为裂鞘式，其结构呈U型，其开口端从套管内穿出，包括和套管接触的导热外壳和设置在外壳内的电热丝，电热丝自由端连接电源线，电热丝和导热外壳之间设有氧化镁绝缘层；套管外设置和套管接触的散热条。

申请号为200420055963.3的实用新型专利公开了一种扩散泵加热器，该加热器与扩散泵的连接采用分体连接，并在加热器的底部安装了千斤顶和万向轮，该加热器包括外壳、加热器垫板，加热器及接线盒，加热器为三块扇形铸铁红外加热板，加热板的下端设有不锈钢反射屏，底部设有千斤顶和万向轮。

废热在工业能源损耗中占大量的份额。现有的扩散泵加热器在使用过程中，多采用空气循环或冷却水循环来实现，其方法是直接将工业废热通过循环直接排放到空气或者冷却水中。

现有技术由于只对一次能源进行了利用，既造成环境污染，又浪费大量热能，这种现实迫使人们除了从数量上寻求更多的一次能源之外，还要尽可能提高能源的利用效率。但一次能源利用率提高范围有限，而且技术需求较高，在实现上成本需求量大。因此，对能源的再利用是现今迫切需求的。

发明内容

针对现有扩散泵加热器热能利用率低，环境污染严重的问题，本发明提供一种扩散泵加热器备，能够利用加热器的废热进行发电，提高热能的利用率，减少环境的污染。

本发明为解决上述问题所采用的技术方案是：

扩散泵加热器，包括加热炉盘，其特征在于：还包括至少一片吸热发电片，所述吸热发电片的两极经连接电极与外部的储电装置和/或负载连接；所述吸热发电片的一端与加热炉盘连接，另一端连接有导热绝缘材料的一侧连接，所述导热绝缘材料的另一侧连接有散热装置。 

进一步地，所述的各个吸热发电片经连接电极串联。

进一步地，所述吸热发电片内设有热电材料，所述热电材料为碲化铋基合金。

进一步地，所述吸热发电片经高导热率硅胶与吸热炉盘连接粘贴。

进一步地，所述导热绝缘材料为绝缘陶瓷片。

进一步地，所述绝缘陶瓷片经高导热率硅胶与散热装置连接。

进一步地，所述散热装置为散热片、水冷管或者风扇。

进一步地，所述连接电极与储电装置和/或负载之间还设有稳压器和控制器。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

一、本发明扩散泵加热器，包括加热炉盘，还包括至少一片吸热发电片，吸热发电片的两极经连接电极与外部的储电装置和/或负载连接；吸热发电片的一端与加热炉盘连接，另一端连接有导热绝缘材料的一侧连接，导热绝缘材料的另一侧连接有散热装置。通过在扩散泵加热器的加热炉盘连接吸热发电片，将废热进行发电回收利用，提高废热的利用率，减少对环境的污染。

二、本发明的各个吸热发电片经连接电极串联，能够进一步地提高废热的利用率。

三、本发明的吸热发电片内设有热电材料，热电材料为碲化铋基合金。扩散泵的温度不超过200°，并且在工厂大部分环节中废热的温度都不超过200°，因此，利用碲化铋基合金制成的吸热发电片，能够满足大部分工厂的条件，提高本发明的使用范围。

四、本发明的吸热发电片经高导热率硅胶与吸热炉盘连接粘贴，具有粘结效果高，同时热传递效果好的特点，能够提高吸热发电片的使用效率，使废热能够进一步地的得到运用。