[发明专利]负载板、自动测试设备和IC测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种负载板、自动测试设备和IC测试方法。

背景技术

自动测试设备（ATE，Automated Test Equipment）是一种由测试仪和计算机组合而成的测试仪器。所述测试仪中包括各种测试硬件，计算机运行测试程序的指令控制测试仪中的测试硬件，以对DIE（管芯）或IC（集成电路）进行自动测试。针对不同的集成电路，如存储器、数字电路、模拟电路和混合信号电路等，ATE都可以分别进行多种测试。

在测试中，要求ATE具备速度、可靠性和稳定性，即需要ATE可以快速且可靠地重复一致的测试结果。为保持测试的正确性和一致性，ATE需要进行定期校验，以保证信号源和测量单元的精度。

而现有的针对ATE校准技术有两种：

一是利用专用校准盒，运行特定的校准程序，检查设备是否满足精度要求。专用校准盒需要定期送至ATE提供厂商进行校准，这种校准方式麻烦且费时。依据设备的稳定性、测试对设备精度的要求不同，这种校准一般是半个月或者一个月做一次，有些设备甚至会半年或者一年做一次校准。

二是利用样品校准（称为golden sample）。用于校准的样品的数据是已知的，通过利用ATE检测样品的数据，对比样品数据和测试数据来判断设备是否正常。如出现测试数据不在规定范围内，则对测试设备的硬件进行调整，直至满足要求。一般这种校准的周期不规则，有些是1天校验一次，有些可能1个星期做一次。

由于以上两种校准方式都不能在每次测量时一同进行，这是由于校准麻烦且费时，为了节省测试时间，都不可能进行实时校准。而这样就无法避免测试设备在校准周期内由于各种原因（包括外围测试环境，设备老化等因素）导致的精度超标的情况，因而存在较大的测试质量隐患。

在模拟集成电路测试过程中，一些高精度的DIE或者IC的测试要求很高，对测试设备的精度要求相当严格。不能实时确保ATE的测试精度，也不能确保对这些高精度的DIE或者IC的测试要求。

发明内容

基于此，有必要针对现有的校准方式不能实时确保ATE的测试精度，不能满足高精度要求的IC测试的要求的问题，提供一种解决办法。

针对上述问题，本发明的技术方案提供了一种应用于自动测试设备的负载板，包括：

接口电路，所述接口电路用于连接自动测试设备和被测器件，以将所述自动测试设备提供的资源信号转换为被测器件所需的测试信号；

基准电压源，用于连接自动测试设备，提供输出电压用于校验所述自动测试设备的测量单元。

可选的，所述基准电压源输出2.5V的基准电压，精度为0.5mV～2.0mV。

可选的，所述基准电压源输出5.0V的基准电压，精度为0.5mV～2.0mV。

可选的，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高一个量级。

可选的，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高0.5个量级。

另外，本发明的技术方案还提供一种自动测试设备，包括如上所述的负载板；

测量单元，用于测量所述测量基准电压源和所述被测器件；

选择开关单元，用于使所述测量单元测量所述基准电压源的输出或者测量所述接口电路上的所述被测器件。

相应的，本发明的技术方案还提供了一种IC测试方法，包括：采用如上所述的自动测试设备进行；包括：

所述选择开关单元连接所述测量单元和基准电压源，利用所述测量单元测量基准电压源的输出电压；

对测量得到的输出电压与基准电压源的理论输出电压进行比较；

若所述输出电压和理论输出电压的差值不符合测量精度要求，停止测试；

若所述输出电压和理论输出电压的差值符合测量精度要求，所述选择开关单元连接所述测量单元和接口电路，利用所述测量单元对所述被测器件进行测试。

可选的，所述停止测试之后，对所述自动测试设备进行校验。

可选的，所述测量精度要求根据所述自动测试设备的精度指标确定。

可选的，还包括不定期采用万用表测量所述基准电压源的所述输出电压，所述万用表定期送至国家计量机构校准。

本发明的技术方案中提供的负载板，仅在原有的负载板的基础上增加了一个基准电压源，就可以实现在每次测量之前，通过利用自动测试设备测量单元对基准电压源的输出进行检测，从而确认自动测试仪器的测量单元的测试精度是否满足测试要求，有效避免由自动测试设备的精度漂移引起的后续测试的误差。