[发明专利]折射放大光学位移传感器无效
申请号: | 201310361465.5 | 申请日: | 2013-08-19 |
公开(公告)号: | CN103438805A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 于占江;吴雅博;于化东;许金凯;丁戗;杨英歌 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 折射 放大 光学 位移 传感器 | ||
1.一种折射放大光学位移传感器,包括激光光源(1)和PSD(9),其特征在于,折射放大三棱镜(6)位于激光光源(1)和PSD(9)之间的反射光路上,激光光源(1)光轴与折射放大三棱镜(6)轴线空间垂直,激光光源(1)发出的测量光入射折射放大三棱镜(6)的入射角a大于等于70°、小于90°,PSD(9)感光面与自折射放大三棱镜(6)出射的测量光垂直。
2.根据权利要求1所述的折射放大光学位移传感器,其特征在于,在激光光源(1)之后、折射放大三棱镜(6)之前依次同轴安置针孔滤波器(2)、准直透镜(3)、孔径光阑(4)。
3.根据权利要求1所述的折射放大光学位移传感器,其特征在于,在折射放大三棱镜(6)与PSD(9)之间的光路上安置有光斑矫正三棱镜(7);光斑矫正三棱镜(7)的几何参数、光学参数与折射放大三棱镜(6)相同;光斑矫正三棱镜(7)的轴线与折射放大三棱镜(6)的轴线垂直;光斑矫正三棱镜(7)与折射放大三棱镜(6)的入射镜面、出射镜面相同。
4.根据权利要求3所述的折射放大光学位移传感器,其特征在于,折射放大三棱镜(6)与光斑矫正三棱镜(7)组成一个棱镜放大系统,在本发明之折射放大光学位移传感器中能够配置n个这样的棱镜放大系统,能够实现光学位移的Kn倍放大。
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