[发明专利]镀膜机故障报警装置

说明书

技术领域

本发明涉及机电控制领域，尤其是一种用于太阳能真空集热管镀膜机的故障报警装置。

背景技术

真空管镀膜原理：把全玻璃真空管放进真空室内，关门，开始抽真空，达到一定的真空度时，关闭光栏充入氩气达到起靶真空度时，就可以对磁控溅射靶（铜靶、钢靶）加上-400V左右的直流电压，工作电流40A左右，等待电压电流稳定后再充入氮气，铜靶、钢靶被电离靶材分子在电场和磁场的作用下溅射到真空管的外表，经过镀膜工艺后完成真空管镀膜。

现有技术对于镀膜过程中，出现的故障现象：当靶冷却水堵塞时，靶温升高，或者当工艺过程中因气体流量计故障或气源压力不足时充入的氩气或氮气逐渐减少到零时会导致靶电压升高超过600V达到900V，而不能及时停止靶电压，造成靶内磁铁的失磁损坏。当真空室内壁膜层有大块脱落与靶相碰时，或者当真空室内转架不垂直使真空管倾斜碰到布气管使布气管缠绕在靶上，或者当靶长时间使用后壁厚减薄未及时更换时，镀膜工艺过程中靶会破裂，靶冷却水就会进入真空室达到一定量时，或者其它多种原因有金属物使靶和外壳相连时，均会导致靶电压降低至50V以下，电流基本正常时不能及时停止靶电压，造成电能和氩气、氮气的浪费。当直流柜内接触器粘连时，铜靶和钢靶共用的直流柜内部靶电压输出接触器其中一个触电粘连，不能及时停止靶工作，造成真空管不宜被发现的内在性能质量问题，即外观很好，却不能蓄热。当控制柜或者直流柜内部有特定故障时靶电压输出不受控制时，在不应该起靶的情况下给靶加上900V以上的高压，造成打开真空室门时极易发生人身触电事故。

现有的镀膜机控制柜不能对上述4种故障现象及时发出警报，提醒工作人员及时处理，不仅会浪费电能、氩气、氮气，时间浪费，设备效率降低，而且对工作人员的人身安全构成危害。经过检索，也未发现能够实现故障报警的相关的设备的文献。

发明内容

为了减少能源浪费、提高产品质量、提高设备使用效率、防止人身触电，本发明提供一种镀膜机故障报警装置；当镀膜设备出现故障现象时，镀膜机故障报警装置能够发出声光报警并自动停止靶电压。

本发明是通过以下技术手段实现上述技术目的的。

镀膜机故障报警装置，其特征在于，包括三档旋钮开关，以及与三档旋钮开关相关的报警电路、练靶电路和停靶电路；所述练靶电路为一常闭电路；所述停靶电路包括一停靶继电器；所述报警电路包括智能电压/电流显示控制仪表、声光报警器和故障停靶与报警自锁继电器，所述智能电压/电流显示控制仪表与镀膜机控制柜相连，所述智能电压/电流显示控制仪表用于从镀膜机拾取、显示靶电压和电流，所述智能电压/电流显示控制仪表的触点还与声光报警器及故障停靶与报警自锁继电器相连；所述停靶继电器的触点及故障停靶与报警自锁继电器的触点与镀膜机控制直流柜开关机的触点串联。

优选地，所述报警电路还包括第一直流继电器、第二直流继电器，所述第一直流继电器、第二直流继电器均由两个继电器串联而成，所述第一直流继电器、第二直流继电器通过接触器分别与镀膜机直流柜内部的铜靶接触器、钢靶接触器相连，所述第一直流继电器的一个继电器与第二直流继电器的一个继电器的触点串联后再与声光报警装置及故障停靶与报警自锁继电器相连。

优选地，所述第一直流继电器、第二直流继电器与接触器之间分别串联有分压电阻。

优选地，还包括与停靶继电器相连的门控行程开关，所述门控行程开关设置在镀膜机真空室门的外部。

优选地，所述第一直流继电器、第二直流继电器上还分别设置有靶工作指示信号灯。

优选地，所述报警电路中在三档旋钮开关和声光报警器之间还设置有复位按钮。

本发明所述的镀膜机故障报警装置，包括三个电路：练靶电路、停靶电路和报警电路。在镀膜机工作过程中，对所述报警电路的智能电压/电流显示控制仪表设定报警值，该报警值根据正常工作时靶电压的值和靶电流的值确定，一般电压报警值为50V、600V，电流报警值为19A。智能电压/电流显示控制仪表实时测量靶电压和靶电流，当靶电压和靶电流值达到设定值时，表明产生故障现象，触发声光报警器发出声光报警，同时，故障停靶与报警自锁继电器闭合，控制镀膜机控制直流柜关闭靶电压输出电路，自动停止靶电压。从而实现当靶电压过高、过低时，及时发现故障并停止靶电压，避免高电压导致靶内磁铁失磁、以及靶电压过低不能电离靶材而造成的电能、惰性气体浪费现象的产生，以利于工作人员及时排除故障，提高生产效率、节约成本。