[发明专利]基片架专用玻璃载具

说明书

技术领域

本发明涉及一种基片架专用玻璃载具。

背景技术

镀膜生产线中磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法，而其中需要一种基片架专用玻璃载具来固定玻璃，达到镀膜的目的。

目前所使用的基片架的玻璃载具包括四个框架杆和多个支撑杆，四个框架杆首尾相连围成正方形，支撑杆分别与相对的两个框架杆固定连接,多个支撑杆将第一框架组件和第二框架组件划分为若干个载物格，每个载物格四面都有载物槽口，玻璃载具放置在载物槽口内，并送入镀膜生产线中镀膜作业。

基片架的玻璃载具通常采用铝合金或者不锈钢材质，具有成本低，易获取等优点，但是镀膜生产线的生产环境为高温无尘环境，普通的基片架的玻璃载具有重量重、耐热性差、耐腐蚀性差等缺点，而且在生产加工中容易产生形变，容易使玻璃发生挤压，影响镀膜玻璃的正常生产。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种受热均匀、耐热性强，而且不易受热形变的基片架专用玻璃载具。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种基片架专用玻璃载具，包括两组框架组件和至少一个支撑杆，两组框架组件分别为第一框架组件和第二框架组件，第一框架组件和第二框架组件分别是由两个平行放置的框架杆构成，四个框架杆首尾相连构成闭合的平行四边形结构，所述的支撑杆两端分别固定在第一框架组件的两个框架杆上或第二框架组件的两个框架杆上，第一框架组件、第二框架组件和支撑杆端面上有载物槽口，至少一组框架组件和至少一个支撑杆的材料为耐热金属材料。

采用这样的结构后，用耐热金属材料替代原有材料，使得基片架专用玻璃载具在镀膜作业的环境下具有耐热性好、耐腐蚀性好，而且在生产加工中不会产生形变和裂纹。

本基片架专用玻璃载具采用的耐热金属材料为金属钛；采用这样的结构后，金属钛材质的框架组件和支撑杆有着重量轻、强度大、耐腐蚀性强，而且使得基片架专用玻璃载具具有良好的耐热胶着性、耐裂纹性、表面平滑。

本基片架专用玻璃载具的支撑杆为四个，分别是第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和第四支撑杆，第一支撑杆两端和第二支撑杆两端分别固定在第一框架组件的两个框架杆上，第三支撑杆两端和第四支撑杆两端分别固定在第二框架组件的两个框架杆上，第三支撑杆和第四支撑杆的材料采用金属钛；

所述的第二框架组件的材料采用金属钛。

采用这样的结构后，第三支撑杆、第四支撑杆和第二框架组件的材料采用金属钛，可以节约本本基片架专用玻璃载具中金属钛的用量，但可以达到同样使本基片架专用玻璃载具在高温条件下不易产生形变的目的。

附图说明

图1是本基片架专用玻璃载具实施例的结构示意图。

图2是图1沿A-A方向的放大剖视图。

图3是图1沿B-B方向的放大剖视图。

图4是本基片架专用玻璃载具实施例基片架的结构示意图。

具体实施方式

如图1至3所示

本基片架专用玻璃载具包括两组框架组件和四个支撑杆，两组框架组件分别为第一框架组件和第二框架组件，第一框架组件由水平放置的第一框架杆11和水平放置的第二框架杆12构成，第一框架杆11第二框架杆12的结构相同，第一框架杆11的前端面下部有第一载物槽口11a，第一框架杆11两侧分别有耳板15，耳板15上有安装孔15a，第二框架杆12的前端面上部有第二载物槽口12a，第二框架杆12两侧分别有耳板15，耳板15上有安装孔15a，第二框架组件由竖直放置的第三框架杆13和竖直放置的第四框架杆14构成，第三框架杆13第四框架杆14的结构相同，第三框架杆13的前端面右侧有第三载物槽口13a，第三框架杆13的上、下两端有安装凹槽16，第三框架杆13前端面的三分之一长度位置和三分之二长度位置处也分别有安装凹槽16，安装凹槽16的深度等于第一框架杆11的高度，安装凹槽16的走向都为水平方向，第四框架杆14的前端面左侧有第四载物槽口14a，第四框架杆14的上、下两端有安装凹槽16，第四框架杆14的三分之一长度位置和三分之二长度位置处也分别有安装凹槽16，安装凹槽16的深度等于第一框架杆11的高度，安装凹槽16的走向都为水平方向。

第一框架杆11、第二框架杆12、第三框架杆13和第四框架杆14依次首尾相连构成长方形。